热处理对AlN陶瓷的热导率及介电性能的影响-硅酸盐学报.DOCVIP

硅 酸 盐 学 报 硅 酸 盐 学 报 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY PAGE 6 PAGE 1 热处理对AlN陶瓷的热导率及介电性能的影响 何秀兰1，施磊1，巩庆东1，郭英奎1，叶 枫2 (1. 哈尔滨理工大学材料科学与工程学院，哈尔滨 150040；2. 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院，哈尔滨 150001) 摘要：采用放电等离子烧结技术制备AlN陶瓷，并利用真空无压烧结方法进行热处理。研究了不同烧结助剂在高温热处理过程中对AlN陶瓷的物相组成、显微组织结构、导热性能及介电性能的影响。结果表明，AlN陶瓷经过热处理后， AlN晶粒进一步发育长大，尽可能实现面接触，材料中的晶间相分布更加合理。与只引入单一稀土氧化物为烧结助剂的AlN陶瓷相比，引入复合烧结助剂稀土氧化物及氟化钙(CaF2)的AlN陶瓷经过热处理后，在有效除氧及生成具有挥发性晶间相双重效果作用下，材料热导率及介电损耗改善效果明显。 关键词：热处理；氮化铝陶瓷；热导率；介电性能 图书分类号：TQ174.75 文献标志码：A 文章编号：0454–5648(2015)09– – 网络出版时间: 网络出版地址： Effect of Heat Treatment on Thermal Conductivity and Dielec