射频磁文档资料控反应溅射制备al2o3薄膜的工艺探究.pdfVIP

第 卷第 期 真空与低温 0! ! 年 月 S@??: T U=ADH8)@; !##1 1 35 射频磁控反应溅射制备! $ 薄膜的工艺研究 # % 祁俊路 ，李合琴 （合肥工业大学 材料科学与工程学院，安徽 合肥 !###$ ） 摘 要：采用射频磁控反应溅射法，以高纯 为靶材，高纯 为