半导体薄膜技术与物理复习.pdfVIP

真空技术 真空的定义：真空是指在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体 状态。 真空度：通常用压强为单位来描述“真空”状态下的气体稀薄程度——真 空度。 （压强高则真空度低，压强低则真空度高） 真空度单位： 毫米汞柱 （mmHg ） 托 （Torr） 帕斯卡 （Pa ） 巴 （bar） 单位之间的换算：1 Pa =1 牛顿/米2=1 千克/米*秒2=10 达因/cm2=0.0075 Torr 真空不同分区的特点：在气压高于10 Torr 的真空范围区域，气体性质和 常压，气流特性也以分子间的碰撞为主;当压力渐渐减小，分子密度降 低，平均自由