使用纳米硅薄膜技术改进现有硅器件的性能-JournalofSemiconductors.pdfVIP

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使用纳米硅薄膜技术改进现有硅器件的性能-JournalofSemiconductors.pdf

第 卷增刊 半 导 体 学 报 24 Vol. 24 SuPPlemeH 年 月 2003 5 HINESE JOURNAL OF SEMI ONDU TORS May 2003 ==========================

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