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第 卷 第 期 中 国 激 光 ,
４４ ９ Vol．４４ No．９
年 月 ,
２０１７ ９ Setember ２０１７
CHINESEJOURNALOFLASERS p
半径５ m的定向输出圆盘形微腔激光器
μ
１ ２ ２ ２ ２
, , , ,
吕晓萌 黄永箴 邹灵秀 杨跃德 肖金龙
１
, ;
中国电子科技集团公司第二十九研究所 四川 成都 ６１００３６
２
,
中国科学院半导体研究所 北京 １０００８３
, ,
摘要 基于三维时域有限差分法 对半径为 的径向直连波导微腔激光器的模式及定向输出特性进行研究 得
５ m
μ
( ) .
到了波长在 附近的高品质因子 横电模的 值与光场分布特性 基于半导体平面加工工艺制备了
１５５０nm Q Q
/ , , .
AlGaInAsInP圆盘形微腔激光器 微腔半径为 ５ m 波导宽度为 １ m 该激光器在 ２９８K下实现了连续单模输
μ μ
, . , .
出 阈值电流为 ４mA 在注入电流为９mA时 激光器的边模抑制比可达３３．４dB 基于速率方程拟合了激光器模
－３
, .
式强度随注入电流的变化 得到激光器的自发辐射因子约为 ５．５×１０
; ; ;
关键词 激光器 半导体激光器 微腔 时域有限差分法
中图分类号 TN２４８．４ 文献标识码 A
: /
doi１０．３７８８CJL２０１７４４．０９０１０１０
UnidirectionalＧEmissionCircularMicrocavitLaserwithRadiusof５ m
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