国家纳米计量标准体系的初步建立-计量学报.pdf

第３５卷　第６Ａ期 计　　　 量　　　学　　　报 　Ｖｏｌ３５，№６Ａ ２０１４年１２月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｄｅｃｅｍｂｅｒ，２０１４ ｄｏｉ：１０３９６９／ｊｉｓｓｎ１０００１１５８２０１４ｚ１０１ 国家纳米计量标准体系的初步建立 高思田，　宋小平，　李　琪，　施玉书，　李　伟， 任玲玲，　李　适，　王鹤群 （中国计量科学研究院，北京 １０００２９） 摘要：中国计量科学研究院经过多年研究，初步建立了国家纳米计量溯源体系，包括有：纳米几何结构计量标 准装置、毫米级纳米几何结构计量标准装置、扫描探针显微镜校准装置、扫描电子显微镜校准装置和纳米薄膜厚度 校准装置。实现了对微纳台阶高度、线间隔、线宽、膜厚的校准定值，还可满足扫描探针显微镜、扫描电子显微镜等 微纳测量仪器的校准，有力地支撑了国家半导体及ＮＭＥＳ／ＭＥＭＳ制造的发展。 关键词：计量学；纳米几何结构；关键尺寸；溯源；计量装置 中图分类号：ＴＢ９２１　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１４）６Ａ０００１０５ ＴｈｅＰｒｅｌｉｍｉｎａｒｙＥｓｔａｂｌｉｓｈｍｅｎｔｏｆＮａｎｏｍｅｔｅｒ ＳｔａｎｄａｒｄＭｅｔｒｏｌｏｇｙＳｙｓｔｅｍｉｎＣｈｉｎａ ＧＡＯＳｉｔｉａｎ，　ＳＯＮＧＸｉａｏｐｉｎｇ，　ＬＩＱｉ，　ＳＨＩＹｕｓｈｕ， ＬＩＷｅｉ，　ＲＥＮＬｉｎｇｌｉｎｇ，　ＬＩＳｈｉ，ＷＡＮＧＨｅｑｕｎ （ＮａｔｉｏｎａｌＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００２９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｈｅＮａｔｉｏｎａｌＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙＰＲＣｈｉｎａｈａｓｐｒｅｌｉｍｉｎａｒｉｌｙｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄｏｕｒｎａｔｉｏｎａｌｎａｎｏｍｅｔｅｒｓｔａｎｄａｒｄ ｔｒａｃｅａｂｉｌｉｔｙｆｒａｍｅｗｏｒｋ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ：ｎａｎｏｍｅｔｅｒｇｅｏｍｅｔｒｉｃｓｔｒｕｃｔｕｒｅｍｅｔｒｏｌｏｇｙｓｔａｎｄａｒｄｄｅｖｉｃｅ，ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒｒａｎｇｅｎａｎｏｍｅｔｅｒ ｇｅｏｍｅｔｒｉｃｓｔｒｕｃｔｕｒｅｍｅｔｒｏｌｏｇｙｓｔａｎｄａｒｄｄｅｖｉｃｅ，ｓｃａｎｎｉｎｇｐｒｏｂｅｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｄｅｖｉｃｅ，ｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｄｅｖｉｃｅａｎｄｆｉｌｍｔｈｉｃｋｎｅｓｓｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｄｅｖｉｃｅＴｈｅｓｅｓｔａｎｄａｒｄａｐｐａｒａｔｕｓｃａｎｃａｌｉｂｒａｔｅｎｏｔｏｎｌｙｔｈｅｎａｎｏｍｅｔｅｒｓｃａｌｅ ｓｔｅｐｈｅｉｇｈｔ ，ｌｉｎｅｐｉｔｃｈｅｓ，ｌｉｎｅｗｉｄｔｈａｎｄｎａｎｏｆｉｌｍｔｈｉｃｋｎｅｓｓ，ｂｕｔａｌｓｏｔｈｅｓｃａｎｎｉｎｇｐｒｏｂｅｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，ｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，ｅｔｃ，ｗｈｉｃｈｅｆｆｅｃｔｉｖｅｌｙｓｕｐｐｏｒｔｆｏｒｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒａｎｄＮＥＭＳ／ＭＥＭＳｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓｉｎＣｈｉｎａ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：Ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ；Ｎａｎｏｇｅｏｍｅｔｒｉｃｓｔｒｕｃｔｕｒｅ；ＣＤｓｉｚｅ；Ｔｒａｃｅａｂｉｌｉｔｙ；Ｍｅｔｒｏｌｏｇｉｃａｌｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ［２］ Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）的计量提出了极大的挑战 。 １　引　言