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利用广角衍射仪对软射线超薄膜的测t.pdfVIP

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  • 2019-09-14 发布于天津
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利用广角衍射仪对软射线超薄膜的测t.pdf

    年第期光学机械总第期用利广角衍仪对射软线超膜的测射薄金蕾裴舒用线衍是目际上对膜用的法之一摘利射射前超薄多层进行检测常方但只于晶衍仪文利用的法衍仪区测于局限双或小角射本方解决了广角射在低角量时山样品的峰和不衍线的从衍仪以用放置误差所造成衍射偏移得到射曲问题而使广角射得应区文重量线行了了的在小角测量中点对测曲进分析准确计算多层膜周期和单层膜厚比明用仪切可的目度并与测量值进行了较结果表利广角衍射测量膜厚是实行在前线波反测量装置还没的下用线衍仪膜的我射段射率有完善条件利射射对超薄检测更显得格外重要言线一

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