磁控溅射法制备几种金属、金属氧化物薄膜.pdfVIP

磁控溅射法制备几种金属、金属氧化物薄膜及其性质研究 （3 ）In order to explore the technology and preparation conditions of ultra thin metal film, Cu thin film was synthesized by magnetron sputtering through controlling the deposition time. Our results showed that the Cu ultra thin film could not formed after 10 seconds deposition. The perfect and dense ultra thin film could be obtained after 30 seconds. The particles diameter increased with the larger sputtering voltage. The impacts of current, gas pressure and substrate-to-target distance to the film quality were also investigated. Cu oxide and Zn oxide thin films can be prepared directly through the subsequently heat oxidation process. KEY WORDS ： Magnetron Sputtering, Photo-electric Properties, Gas-sensing Properties IV 第一章 绪论 第一章：绪论 §1.1 引言 随着科技的发展，器件的小型化、智能化、集成化、高密度存储和超快传输对材料 尺寸的要求越来越小，对器件的制造技术提出了更高的要求，新材料的产生与新技术的 发展对今后社会发展、经济振兴、国力增强具有强有力的影响。而纳米材料由于具有特 殊的物理和化学性能，对其的研究从上世纪 80 年代末逐渐兴起，并成为当今新材料领 域中最富活力，对未来经济和社会发展有着重要影响的研究对象。特别是金属氧化物纳 [1] 米材料由于在在电子、食品、生物、医学等行业有着广阔的应用而倍受关注 。 纳米材料是指粒子尺度在1-100纳米范围，一般来说，只要有一维处于纳米尺度范围 内，我们就称为这种材料为纳米材料，我们一般从维度上来命名纳米材料，主要分为零 维、一维和二维纳米材料：零维纳米材料为三维尺度都处于纳米尺度范围，比如纳米颗 粒、原子团簇等[2.3] ；一维纳米材料为在三维尺度中，其中有两维处于纳米尺度范围，比 [4-7] 如纳米线、纳米纤维、纳米棒、纳米管等 ；二维纳米材料为三维空间中有一维在纳 [8.9] 米尺度范围，如超薄膜，纳米带等 。在纳米材料的研究中，主要通过各种表征手段对 纳米材料的形貌结构与性质进行研究，找出不同形貌的纳米材料的性质特征与规律，找 到在现实生活中能够得到应用的方法；找到新的纳米材料，并研究其性能，以达到在现 实生活中能够应用的目的。 §1.2 纳米材料的基本效应 由于纳米材料的晶粒很小，相对于那些大颗粒材料，在晶界上的原子数比例增大， 产生了高浓度的晶界，因而使纳米材料具有许多不同于传统固体材料的特异的性质。如 [10-15] [16-21] [22] 量子尺寸效应 、表面与界面效应 、小尺寸效应 、宏观量子隧道效应和介电限 [23] 域效应 ，并且表现出奇异的力学、电学、磁学、光学、热学和化学等特性。 量子尺寸效应：当粒子尺寸下降到某一值时，金属费米能级附近的准连续电子能级 呈现出离散能级的现象和