黄光NPundercut偏大的原因分析11.pptxVIP

1 黄光NP undercut偏大的原因分析 2 第一阶段 3 事件说明： 4月13日——4月15日，因NP黄光N undercut偏大异常重工 13批产品（217pcs） N pad Undercut spec：1.5~4um 4 针对NP undercut异常进行的Action： 机台 制程参数 机台参数 coater（1FCO02） 软烤：110℃ 110S 软烤：110℃ 110S aligner(1FAL01) 曝光量：130mj（0707）/115mj（0815） 曝光量：130mj（0707）/115mj（0815） aligner(1FAL03) 曝光量：130mj（0707）/115mj（0815） 曝光量：130mj（0707）/115mj（0815） developer(1FDE01) PEB:105℃ 120S 显影时间：120S PEB:105℃ 120S 显影时间：120S 1.对黄光各机台NP参数设置进行确认： 小结：黄光机台参数设置无异常。 5 2.使用黄光控片进行测试 2.1 测试片数10pcs； 2.2 步骤：HMDS----coater---aligner---developer 2.3 显影后情况： 小结：挡片测试结果，undercut偏大。 6 3.请设备对机台相关条件进行测试： Spec:110±2℃