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- 2019-09-03 发布于广东
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透射电子显微镜及其在纳米材料中的表征
透射电子显微镜及其在纳米材料中的表征
何腾桥
理学院材料物理专业
指导教师:张莉芹、吴开明
摘要:文章重点介绍了透射电子显微镜的结构、原理以及其发展状况。透射电子显微镜发展至 今,英放大倍数接近15万倍,分辨本领达到0. 14um,因此它在微观材料的研究方面广为应用。文屮通过 透射电子显微镜对纳米颗粒材料的分析与表征,体现了它在材料尤其是纳米颗粒材料分析中重耍的作用。
关键词:透射电子显微镜纳米颗粒粒度物和分析
透射电子显微镜简称透射电镜,它是以波长极短的电子束作为照明源,用 电子透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的屯子光学仪器。
—、综述
1.透射电镜的发展状况:[5]
1931年,徳国的M.诺尔和E.鲁斯卡用冷阴极放电电子源和三个电子透镜 改装了一台高压示波器,并获得了放大十几倍的图像,发明的是透射电镜,证 实了电子显微镜放大成像的可能性。
1932年,经过鲁斯卡的改进,电子显微镜的分辨能力达到了 50纳米,约 为当时光学显微镜分辨本领的十倍,突破了光学显微镜分辨极限,于是电子显 微镜开始受到人们的重视。
到了二十世纪40年代,美国的希尔用消像散器补偿电子透镜的旋转不对称 性,使电子显微镜的分辨本领有了新的突破,逐步达到了现代水平。
1947年,德国科学家Scherzer提出,磁透镜的欠聚焦能够补偿因透镜缺陷 (球差)引起的相位差
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