单晶生长过程直径检测与化料过程模式分类方法研究-控制理论与控制工程专业毕业论文.pdf.docxVIP

摘 要论 摘 要 论 文 题 目: 单 晶 生 长 过 程 直 径 检 测 与 化 料 过 程 模 式 分 类 方 法 研 究 学 科 专 业 : 控 制 理 论 与 控 制 工 程 研 究 生 : 曾 东 方 签名:，势扬 指 导 教 师 : 刘 丁 教 授 赵 跃 副 教 授 签签名名，:瓣通 攀 共 摘 要 硅 单 晶 是 制 造 IC 集 成 电 路 和 太 阳 能 电池 的 关 键 材 料 ， 随 着 半 导 体 产 业 的 快 速 发 展 需 求 量 巨大 。直 拉 单 晶 炉 是 制 备 硅 单 晶 的 主 要 设 备 ，本 课 题 主 要 目的 是 研 究 全 自动 硅 单 晶 炉 晶 体 直 径 测 量 技 术 。本 文 讨 论 了 晶 体 直 径 检 测 系 统 的 发 展 历 程 ，分 析 了 当 前 国 内外 测 径 技 术 ，了 解 到 基 于 图 像 处 理 计 算 的 直 径 测 量 技 术 是 全 自动 单 晶 炉 的 核 心 技 术 之 一 。 在 测 径 硬 件 平 台 上 ，研 究 了 T D R 15 O 型 全 自动 单 晶 炉 测 径 平 台 ，并 分 别 在 嵌 入 式 图 像 处 理 平 台 以及 影 像 系 统 处 理 平 台 上 开 展 了 测 径 工 作 ， 另 外 考 虑 国 内用 户 价 廉 以及 实 用 的 要 求 ， 设 计 了 一 套 基 于 P C 机 处 理 的 图 像 采 集 平 台 ，该 平 台 成 本 较 低 、安 装 方 便 、实 用 性 强 。在 测 径 软 件 算 法 上 ，T D R 150 型 单 晶炉 测 径 算 法 处 理 速 度 较 慢 ，根 据 晶 体 生 长 图 像 特 点 本 文 对 其 进 行 了 改 进 ，并 提 出 了 一 种 有 效 的 新 测 径 算 法 ，该 算 法 采 用 了 良好 的 光 圈 提 取 以及 有 效 的 圆 拟 合 算 法 ，处 理 结 果 良好 、 运 行 效 率 较 高 。 作 为 项 目的 延 伸 ，本 课 题 还 研 究 了硅 料 熔 化 过 程 检 测 问 题 。当 前 主 要 采 用 红 外 传 感 器 检 测 硅 料 熔 化 是 否 完 成 ，该 设 备 检 测 效 果 有 很 大 的 改 进 空 间 。本 文 利 用 测 径 设 备 采 集 了 一 些 硅 料 熔 化 图 像 ，并 对 其 进 行 了 基 于 频 域 、统 计 、角 点 检 测 等 方 面 的 分 析 ，根 据 分 析 结 果 初 步 提 出 了 一 个 基 于 图 像 处 理 的 化 料 过 程 检 测 方 案 。 关 键 词 : 单 晶 炉 ; 图 像 处 理 ; 直 径 测 量 ; 化 料 检 测 A b A b stra c t T it lG : R e s e a re h o n t h e d ia m e te r d e te e t io n in s ilic o n c ry s ta l g ro wt h a n d P a tt e rn re e o g n itio n in m e lt d o w n P ro e e s S M aj o r: C o n tro l T h e o ry a n d C o n tro l E n g in e e rin g C a n d id a tG : Z e n g D o n g fa n g 5 ig n a t u re : S u P e rv is o r : P ro f. L iu D in g 5 ig n a t u re A s s o c ia te P ro f . Z h a o Y u e 5 ig n a t u re A b s t Fa C t W ith th e rap id d e v e lo P m e n t o f th e se m ie o n d u c to r in d u st尽 th e d e m an d fo r m o n o e ry stal lin e silie o n 15 e n o rm o u s ，w h ic h 15 th e fu n d am e nt a l m at e ri a l to e re at e in te gr at e