Q_QZF 11-2018QZF 11-2018 电子工业用气体 磷化氢企业标准.pdf

ICS Q/ZF 合 肥 正 帆 电 子 材 料 企 业 标 准 Q/ZF 1 1-2018 电子工业用气体 磷化氢 文稿版次选择 2018 - 08 - 28 发布 2018 - 08- 28 实施 合肥正帆电子材料有限公司 发 布 Q/ZF 11—2018 前 言 本标准按照GB/T 14851-2009给出的规则起草。 本标准于2018年8月28日首次发布。 本标准由合肥正帆电子材料有限公司提出并负责起草。 本标准主要起草人：刘海涛、吴伟、华中锋、严志刚、许召文、许成。 I Q/ZF 11—2018 电子工业用气体 磷化氢 1 范围 本标准规定了电子工业用气体磷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于磷化合物与酸反应获得的磷化氢. 磷化氢 分子式：PH3 相对分子质量：33.99758 （(按2005年国际相对原子质量计)） 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有 的 修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是 否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB 5099 钢质无缝气瓶 GB 7144 气瓶颜色标志 GB/T 8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法 GB/T 11640 铝合金无缝气瓶 GB 14193 液化气体气瓶充装规定 GB/T 26571 特种气体储存期规范 《气瓶安全监察规程》(国家质量监督检验检疫总局发布,2000年) 3 技术要求 磷化氢质量指标和内控标准见表1 表1 ：磷化氢质量指标和内控标准 项目 指标 内控标准 磷化氢 （PH3）含量（体积分数）/% ≥99.9999 ≥99.9999 氮(N2) 含量（体积分数）/ppb ＜250 ＜200 氧氩（O2+Ar）含量（体积分数）/ppb ＜50 ＜35 二氧化碳(CO2) 含量（体积分数）/ppb ＜50 ＜35 一氧化碳(CO) 含量（体积分数）/ppb ＜50 ＜35 甲烷(CH4) 含量（体积分数）/ppb ＜50 ＜35 硅烷(SiH4) 含量（体积分数）/ppb ＜50 ＜35 锗烷(GeH4) 含量（体积分数）/ppb