真空系统组成与设计基础上课讲义.ppt

真空系统组成 与设计基础;《真空技术》;1.真空系统的组成;1.1 真空系统的概念;马德堡半球实验;真空电炉：真空电炉是在最近几十年发展起来的，在真空条件（稀薄气体中）工作的。根据加热热源不同，真空电炉可分为： 电阻加热炉 感应加热炉 电弧加热炉 电子束加热炉;真空电子束焊接：定向高速运动的电子束流撞击工件使动能转化为热能而使工件熔化，形成焊缝;多功能离子注入设备;金属蒸汽真空弧源注入机;;真空吹氧脱碳炉;非自耗电弧炉;离子注入： 真空中一束离子束射向固体材料，把固体材料原子或分子撞出材料表面，叫做溅射； 离子束从固体材料表面弹回来，或穿出固体材料而去，叫做散射； 而当离子束射到固体材料后，受固体材料抵抗速度慢慢减低，并最终停留在固体材料中，叫做离子注入。 离子注入引起材料表面成分、结构和性能变化，从而优化材料表面性能，或获得某些新的优异性能 特点：无公害、不改变尺寸和表面光洁度、无剥落、不需再加工和热处理。;真空热处理： 真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，即在低于一个大气压的气氛环境中进行热处理，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。 真空热处理可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的热处理工艺，但热处理质量大大提高。 无氧化、无脱碳、无毒害物质产生；变形小、硬度均匀；脱脂除气，可获得洁净表面。 ;光学镀膜机;;;幕墙玻璃;磁控溅射与离子束联合镀膜机;用于对样品表面或断口形貌进行观察和分析;扫描电子显微镜; 扫描近场光学显微镜 多模式扫描探针显微镜 ; 气动真空输运设备;差压型真空注型机;国内第一台千瓦量级的氦制冷系统;大型真空热实验设备;模拟舱中的神州飞船;真空度的提高（极高真空10-12Pa）和真空容器大型化（例如宇航的微重力试验的真空系统真空室1700m3），今后新的尖端科学技术的发展对此要有所考虑。;Want of Manufacturing of semiconductor Industry;液晶显示器;半导体工业需要清洁的环境;真空集便器与真空除污机;“象鼻”真空吸尘机;典型高真空系统;1.2 真空系统的组成元件;图3 典型真空系统原理图 ; 1—真空室 2－放气阀 3－电离真空计 4－热偶真空计 5－高真空阀6－冷阱 7－扩散泵 8－前级真空阀 9－电磁真空阀 10－机械泵 11－管道阀;1.3真空系统的分类;1.3.1 粗低真空系统;真空系统示意图;真空集便器与真空除污机;1.3.2 中真空系统;; ;;; ; ; 罗茨水环泵机组;1.3.3 高真空系统;;几种典型高真空系统; ; ;以油增压泵和扩散泵等两套主泵,分别串联罗茨泵+机械泵和滑阀泵;1.3.4 超高真空系统;;;钛泵或溅射离子泵做为主泵,并联或串联分子筛吸附泵(做为预真空泵)，或用钛泵联接预真空机械泵，在机械泵的入口管道上加油蒸气捕集器。 ; ;1.4 真空系统设计的基本内容;1.真空系统的组成 2.真空系统组成元件 3.真空系统的设计计算;2 真空系统元件及连接;2.1 真空阀门;2.1.1 真空阀的分类与型号;真空阀门在真空系统中的作用;分类方法;真空阀门的型号是按如下顺序和内容确定的 基本型号 辅助型号 ① ② ③ —— ④ ⑤ ⑥ 各符号所采用的字母及代表意义见表13-2。;2.1.2 真空阀门的工作型式;1 隔膜阀;2 真空球阀;3 真空蝶阀;4 插板阀;5 挡板阀;6 翻板阀;图9的结构,阀盖的翻转靠四连杆机构实现,阀盖能实现90°翻转。;在图10的结构中,靠滚轮将阀盖挡翻,在这种结构的阀门中,阀盖不能翻转90°。;;7 电磁阀;8 针阀;9 超高真空阀;;2.2 捕集器（阱）;概述 机械捕集器的设计原则及其典型结构 ;机械捕集器的型式如表4;典型的几种机械捕集器的结构如图35至图38所示。;2.5 可拆卸密封连接;1.真空系统的组成 2.真空系统组成元件 3.真空系统的设计计算;3 真空系统的设计计算;3.0 预备知识; 稀薄气体流动状态的判别;气体流动的基本状态;气体流动状态的分类;湍流与粘滞流的转变及其判别;粘滞流与分子流的转变及判别;流导的计算;流导; ;2 流导的计算 在真空系统中,连接管道通常采用的是圆截面管道,被抽气体又多为室温下的空气,因此这里只简要介绍圆孔和圆截面管道对室温空气的流导。2.1 粘滞流时流导的计算; ; ; ; ;2.2 分子流时流导的计算; ; ; ; ; ; 2.3 粘滞—分子流时,圆管对于室温空气 的流导计算; ;2.4 管路元件串、并联时,流导的计算; ; ; ;3 真空系统的设计计算;3.1