数字集成电路第3章.pptVIP

集成电路电路中的无源元件 无源元件有电阻、电容，制作工艺与NPN管（或MOS）兼容； 集成电阻、电容最大的优点是元件间匹配及温度跟踪好； 缺点为精度低；绝对误差大；温度系数大；可制作范围有限，不能太大，也不能太小，占用芯片面积大； 集成电路中多用有源器件，少用无源器件 集成电阻器分类 基区扩散电阻 发射区扩散电阻 基区沟道电阻 离子注入电阻 多晶硅电阻和MOSFET形成电阻 基区扩散电阻 基区扩散电阻最小条宽的设计 基区扩散电阻最小条宽受三个限制 由设计规则决定最小扩散条宽 由工艺水平和电阻精度决定 由流经电阻的最大电流决定 由设计规则决定最小扩散条宽 设计规则决定最小扩散宽度Wmin，设计规则是从工艺中提取的，为了保证一定成品率而规定的一组最小尺寸，这些规则主要考虑了制版、光刻等工艺可实现的最小条宽度、最小图形间距、最小可开孔、最小套刻精度，必须符合设计规则。 由工艺水平和电阻精度决定 由工艺水平和电阻精度决定 由此可见，要提高电阻的精度，可选较大的电阻条宽，为了保证一定的电阻值，电阻的长度必然增加，导致芯片面积增加、寄生电容增加，所以应折衷考虑 虽然扩散电阻的相对误差很大，但在一定的条件下，可使匹配误差作的很小，R1、R2与匹配误差可表示为 由工艺水平和电阻精度决定 如果将两个要求匹配误差很小的电阻，满足下列条件： 作在同一隔离岛上 互相紧挨着 使它们条宽相等 方向相同