激光超声检测原理与应用课件.pptVIP

利用光学方法探测材料表面的超声振动是—种新型的无损检测手段，该方法具有非接触、灵敏度高等特点，能够克服传统超声波检测需要耦合剂的缺点，是真正意义上的非接触、宽带检测技术。光学法检测技术又可细分为非干涉检测技术和干涉检测技术两种。目前广泛使用的是外插干涉仪、共焦F-P干涉仪是线性干涉仪，而相位共轭干涉仪，双波混合干涉仪以及光感生电动势干涉仪则属于非线性光学的。 脉冲激光照射到样品的表面上所产生的超声应力能引起样品光折射率的微小改变，这种微小改变又能引起样品镜式或弥散式反射率的变化，通过检测这种变化，即可得到脉冲激光在薄膜中产生的超声回波。已在光热检测中获得了成功的应用。 当入射光斑的尺寸相当于几个声波的波长时，由于Bragg效应或Raman-Nath效应，会产生一级或多级衍射光，通过测量衍射光的强度和偏转角，可测定超声波的特性。已在连续声波测量中获得了广泛应用。 由于超声能透入金属内部，大多数需要测量的材料特性参数不是影响超声速度，就是影响超声衰减，或者对二者都有影响。再加上激光超声的特点，它就能够测量材料的以下各项特性： (1)尺寸特性，如厚度、高度等。用激光超声可提高测量薄片的能力，几微米厚的金属片．测量误差约2％，并且可以进行高温在线测厚。 (2)力学特性，如测量残余应力、弹性模量等。 (3)缺陷检测。因为激光超声检测技术对包括纵波、横波和表面波在内的整个超声波都是灵敏的，所以它可以通过选择不同的波形，来探测体内，表面和亚表面的缺陷。 (4)内部和表面的应力状态及分布。 激光超声的非接触式激发与接收、以及无损、非侵入性等特点，使得其特别适合于在恶劣的环境下（如高温高压、高湿、有毒、酸、碱及检测环境或被测工件存在核辐射、强腐蚀性和化学反应等），对工件进行在线检测。 现在，激光超声技术酬叠成功地盔热轧无缝钢管（管长5.5～12m，温度1230 摄氏度，延伸速度2m/s）生产线上进行管坯壁厚均匀性的在线检测；对核反应堆中的石墨特性进行分析：对铝、陶瓷和钢在高温下(温度达1400摄氏度）的材料特性进行测定：在线监测陶瓷的烧结过程(温度700～1100摄氏度）和金属浇铸过程中的固化等。 激光超声检测原理与应用 1 激光产生超声的机理 利用激光产生超声波的方法可分为直接式和间接式两大类。直接式是使激光与被测材料直接作用，通过热弹性效应或烧蚀作用等激发出超声波；间接式则是利用被测材料周围的其它物质作为中介来产生超声波。 1.1 热弹机制 当入射光的功率密度较低（金属材料的典型值是106W/cm2）时，材料表层由于吸收光能导致局部升温，引起热膨胀而产生表面切向压力，同时激发出横波、纵波和表面波。在这种机制下，声信号的幅度随着激发功率的增加而线性增加。由于激发功率的密度较低，表层的局部升温没有导致材料的任何相变，因而具有严格无损检测的特点。但热弹激发超声过程中，光能转化为热能的效率很低。 热弹激发机理原理如图1-1 1.2 烧蚀机制 当入射光的功率密度逐渐升高时，材料表层的瞬态升温将逐步导致材料的熔化、汽化和形成等离子体。这时将有一小部分表面物质被喷射出来，从而给样品表面施加了一个非常高的反作用力，导致声波的产生。在这种机制下可以获得大幅度的纵波和表面波，激发效率比热弹机制高4个数量级。但由于它每次对表面产生约0.3μm的损伤，所以只能用于某些场合，且通常用来产生超声纵波。热弹机制由于对表面无损伤，且能产生各种波形，所以现在用得最多。 烧蚀激发机理原理如图1-2。 1.3 其他激发机理 1.3.1热栅激发(简称LIPS) 1.3.2热应变激发 1.3.3电子应变激发(非热激发) 1.3.4非热机制-反压电效应激发 2 激光超声检测系统 激光超声的接收主要有： 传感器检测 光学法检测两类 传感器检测包括压电陶瓷换能器检测，电磁声换能器检测，电容声换能器检测。这些检测方法,可以十分简便地接收到激光超声信号，但传感器必须与样品接触，或者非常接近样品表面，才能获得高的检测灵敏度。并且超声检测用压电换能器接收超声信号这种方法需要用耦合剂，对被测样品会产生影响。 2.1 非干涉检测技术 2.1.1刀刃检测技术 2.1.2表面栅格衍射技术 2.1.3反射率检测技术 当照射到样品表面的检测光束直径小于激光超声波长时，检测光的反射光由于样品表面超声振动而发生偏转，偏转大小由刀刃切割的光通量和位移检测器测定。反射光的偏转值与声波的幅值及性质有关，它反映了表面波和体波的传播情况，以及样品的内部缺陷和微结构。其检测极限为103nm；对于抛光的非吸收面，检测带宽可达到MHz 量级。已在商用的扫描激光声显微镜（SLAM）及原子力显微镜（AFM）中获得应用。该方法具有结构简单，频带宽，环境振动影响小等优点，是对抛光表面样品进行超声检测的有效工具 刀