电子显微镜分析及应用.pptVIP

电子显微镜分析应用 目录 电子显微镜与光学显微镜的对比 电子显微镜分类 电子显微镜原理 电子显微镜构成 电子显微镜特点及应用 电子显微镜分布（武汉） 电子显微镜与光学显微镜的对比 电镜分类 根据电子束和样品之间作用方式不同，可将电镜分为4大类: 1) 物体透射电子 透射电镜观察和分析样品的内部结构 2) 物体发射电子 扫描电镜观察和分析样品的表面立体形貌 3) 物体反射电子 4) 物体吸收电子 电子显微镜成像原理 扫描电子显微镜（SEM，Scanning Electron Microscope） SEM是利用电子束在样品表面扫描激发出来代表样品表面特征的信号成像的。主要用来作微形貌观察、显微成分分析。分辨率可达到1nm，放大倍数可达5×105倍。 透射电子显微镜（TEM，Transmission Electron Microscope ） TEM是采用透过薄膜样品的电子束成像来显示样品内部组织形态和结构的。用于微结构分析、微形貌观察。分辨率可达到1－1nm，放大倍数可达106倍 电子探针显微分析（EPMA，Electron Probe Micro-Analysis）： EPMA是利用聚焦的很细的电子束打在样品的微观区域，激发出样品该区域的特征X射线，分析其X射线的波长和强度来确定样品微观区域的化学成分。将SEM和EPMA结合起来，则可进行显微形貌观察，同时进行微区