第7讲移相干涉术.pptVIP

移相干涉术 陈磊 2008年3月23日 正弦信号的位相探测 最小二乘法求解 求解位相 四步移相干涉 移相式干涉仪 国产移相式干涉仪 国产移相式干涉仪 国产数字干涉仪 移相式红外干涉仪 ZYGO干涉仪光路 WYKO干涉仪光路 移相干涉的特点 数字化、定量化、数据量大 测量精度高、重复性好 波面可用数学表达式拟和 减小震动等环境因素的影响 消除系统误差的影响 应用广泛 移相干涉术的关键技术 移相器 移相算法 波面展开(phase unwrapping) 移相误差的消除 移相-参考镜平移 移相-双楔镜移动 移相-转动玻璃平板 旋转平板移相 移相-光栅移相 移相-旋转半波片 移相器-单个PZT 移相器： 由单个压电晶体组成 PZT加以足够的预压力，可承载预压力约9公斤 移动部件和PZT之间的连接是单点接触 基座厚重 移相器-三个PZT 移相器： 有效通光口径?100mm 由三组压电晶体组成 可承载约9公斤预压力 移相器实验数据 有效区域 干涉图有效区域的确定 移相算法-三步法 三步法移相误差 四步法 Hariharan五步法 Hariharan五步法移相误差 六步法与七步法 移相误差 Carre法 包裹相位 位相展开 移相器校正 移相干涉软件系统 Zygo的软件系统 应用举例—一等量块测试 应用举例—立方体楔角测试 应用举例—光盘基片测试 移相式干涉仪的应用举例 移相式干涉仪的应用举