第三讲连续薄膜的形成(陈).pptVIP

;晶核相互吞并机制;设想在形核过程中已形成了各种不同大小的晶核。随着时间的延长，大晶核将依靠消耗吸收小晶核获得长大。 这一过程的驱动力来自岛状结构的薄膜力图降低自身表面自由能的趋势。 ;Ostwald吞并过程热力学;根据化学位定义，每个原子的自由能：;小晶核中的原子将具有较高的活度，其平衡蒸气压也将较高。 当两个尺寸大小不同的晶核相邻的时候，小晶核中的原子有自发蒸发的倾向，而大晶核则会因其平衡蒸气压较低而吸收蒸发来的原子。 大晶核吸收原子而长大，小晶核则失去原子而消失。 Ostwald吞并的自发进行导致薄膜中一般总维持有尺寸大小相似的一种岛状结构。;熔结过程：两个相互接触的晶核相互吞并的过程;在衬底上的原子团具有相当的活动能力。其行为有些象小液珠在桌面上的运动。 原子团迁移的驱动力：热激活过程。其激活能Ec应与原子团的半径有关。原子团越小，激活能越低，原子团的迁移也越容易。原子团的迁移将导致原子团间的相互碰撞和合并。;金刚石薄膜的晶面取向性生长;表面能和薄膜表面取向;决定表面取向的Wullf理论;决定表面取向的Wullf理论;决定表面取向的Wullf理论;薄膜的生长与薄膜结构;薄膜生长的晶带模型;2.5.1 薄膜生长的晶带模型;2.5.1 薄膜生长的晶带模型;2.5.1 薄膜生长的晶带模型;2.5.1 薄膜生长的晶带模型;2.5.1 薄膜生长的晶带模型;2.5.1 薄膜