第一章光学测量的基础知识.ppt

参考书目 范志刚,光电测试技术,电子工业出版社,2008 苏大图，光学测试技术，北京理工大学出版社，1996 杨国光，近代光学测试技术，浙江大学出版社，1997 张琢，范志刚，激光干涉测试技术及应用，机械工业出版社，1998 孙长库，叶声华，激光测量技术，天津大学出版社，2001 殷纯永，现代干涉测量技术，天津大学出版社，1999 汤顺青，色度学，北京理工大学出版社，1991 若将四象限光电二极管固定在M处，则： 为了便于判断物点S0是否在焦点位置，我们引入一个量 由v的正负可测得物点是远离了还是靠近了，其幅值大小反映微位移量的大小． 相应的处理电路原理图为： 这种微位移测量方法已用于照相系统自动调焦、激光唱盘跳动量测量等 下图为用于集成电路芯片制造中的芯片自动调焦。右图为测量激光唱盘的跳动量的原理图。 CCD图像传感器 CCD(Charge-coupled device)为电荷耦合器件的简称。 自从1970年由美国比尔实验室发明以来，取得了惊人的进展，由于它具有体积小、重量轻、较高的空间分辨率、坚固等特点，已广泛应用于图像传感、信号处理、数字存储等领域。 电荷耦合器件的突出特点是以电荷作为信号，而不同于其他大多数器件是以电流或者电压为信号。 CCD的基本功能是电荷的存储和转移。因此，CCD工作过程的主要问题是信号电荷的产生、存