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磁控溅射镀膜机技术规格货物名称数量磁控溅射镀膜机套工作条件及用途工作条件能在电源电压室温连续工作时间能力不应少于小时设备服役期限年用途主要用于镀制多层金属及金属化合物薄膜技术规格卖方所提供的磁控溅射镀膜机必须是技术先进经济合理成熟可靠的产品本条中带技术指标为关键指标不允许有超标基本要求磁控溅射镀膜机由无油真空系统溅射系统气体压强控制装置气体流量控制装置以及烘烤旋转系统等组成可满足样品尺寸为多片片以上同时镀制要求可满足三靶共溅射要求溅射室采用不锈钢制造气体管路采用不锈钢硬管溅射室的观察窗不少于个备
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磁控溅射镀膜机技术规格
货物名称、数量
磁控溅射镀膜机1套
工作条件及用途
工作条件
能在电源电压380±10%V、50±2%Hz、室温0℃~40
连续工作时间能力不应少于168小时，设备服役期限15年。
用途
主要用于镀制多层金属及金属化合物薄膜。
技术规格
卖方所提供的磁控溅射镀膜机必须是技术先进，经济合理，成熟可靠的产品。
本条中带*技术指标为关键指标，不允许有超标。
3.1基本要求
磁控溅射镀膜机由无油真空系统、溅射系统、气体压强控制装置、气体流量控制装置以及烘烤旋转系统等组成。可满足样品尺寸为?50mm，多片（4片以上）同时镀制要求，可满足三靶共溅射要求；溅射
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