光栅传感器教案资料.pptVIP

4.5.5辨向原理 单个光电元件接收一固定点的莫尔条纹信号， 只能判别明暗的变化而不能辨别莫尔条纹的移动方 向，因而就不能判别运动零件的运动方向，以致不 能正确测量位移。 如果能够在物体正向移动时，将得到的脉冲数 累加，而物体反向移动时可从已累加的脉冲数中减 去反向移动的脉冲数，这样就能得到正确的测量结 果。 辨向光路设置 在相距1/4的位置上设置两个光电元件1和2， 以得到两个相位互差90°的正弦信号 辨向电路 正向移动时脉冲数累加，反向移动时，便从累加的脉冲数中 减去反向移动所得到的脉冲数，这样光栅传感器就可辨向。 辨向电路各点波形图 是元件1输出的波形，超前 90° 是元件2输出的波形； 是 波经整形放大后的脉冲方波； 是 波形经整形放大后的脉冲方波，仍超前 90°； 是 反相后得到的脉冲方波； 是 经微分电路后得到的脉冲波； 是 经微分电路后得到的脉冲波 对于“与门 ”： 当 高电平时， 总是处于低电平，所以 输出为零（0） 对于“与门 ”： 当 高电平时, 总是处于高电平，所以 输出为高（1） 此时触发器： 置“1”，→（控制）“可逆计数器”作 加法计数 4.5.6 细分技术 目的：提高分辨力（测量更小的位移量）。 细分方法： 1.增加光栅刻线密度； 2.电子细分； 3.机械和光学细分。 每个输出脉冲间隔代表一个栅距 电子细分：在一个栅距即一个莫尔条纹信号 变化周期内, 发出n个脉冲, 每个脉冲代表原来栅 距的1/n。由于细分后计数脉冲频率提高了n倍, 因 此也称之为n倍频法。 通常采用的电子细分方法有：直接细分和电阻 电桥细分、电阻链细分等。 1.直接细分 直接细分又称位置细分，常用的细分数为4。 四细分可用4个依次相距的光电元件，在莫尔条纹 的一个周期内将产生4个计数脉冲，实现了四细分。 优点：对莫尔条纹信号波形要求不严格，电路简 单，可用于静态和动态测量系统。 缺点：光电元件安放困难，细分数不能太高。 4.5 光栅传感器 光栅作为一种光学器件，很早就有，但早期人 们是利用光栅的衍射效应进行光谱分析和光波波长 测量，直到了近代才开始利用光栅的莫尔条纹现象 进行精密测量，它的突出特点是精度非常高，分辨 力特别强 （长度可达0.05μ，角度可达0.1″），所 以广泛应用于精密加工，光学加工，大规模集成电 路的设计、检测等方面,尤其是目前军事领域。 光栅是在一块长条型（圆形）光学玻璃（或金 属）上均匀刻上许多宽度相等的刻线，形成透光与 不透光相间排列的光电器件。 栅线——光栅上的刻线，宽度a 缝隙宽度b 栅距w=a+b（也称光栅常数） 光栅的结构 按应用类型：长光栅和圆光栅 长光栅：刻划在玻璃尺上的光栅，也称为光栅 尺，刻线相互平行；用于测量长度或 线位移 构成：主光栅 --- 标尺光栅，定光栅；指示光栅 --- 动光栅 长度 --- 测量范围；刻线密度 --- 测量精度 ( 10、25、50、100、125线/mm ) 圆光栅：在圆盘玻璃上刻线，用来测量角度或角位移. 栅距 栅线宽度 缝隙宽度 栅距角 圆光栅分类： 根据栅线刻划的方向，圆光栅分三种： 径向光栅: 其栅线的延长线全部通过光栅盘的圆心； 切向光栅: 其全部栅线与一个和光栅盘同心的直径只有零点儿或几个毫米的小圆相切; 环形光栅: 一簇等间距同心圆组成. 若按光线的走向，圆光栅只有透射光栅。 按栅线形式：黑白光栅和闪耀光栅 黑白光栅：利用照相复制工艺加工而成,其栅线 与缝隙为黑白相间结构； 相位光栅：横断面呈锯齿状,常用刻划工艺加工 而成。 4.5.1 光栅传感器的结构 光栅副 主光栅和指示光栅之间的距离d可根据光栅的栅距来选择。主光栅和指示光栅在平行光的照射下，形成莫尔条纹。主光栅的精度决定了整个装置的精度。光电元件把光栅形成的莫尔条纹的明暗强弱变化转换为电量输出，主要有光电池和光敏晶体管。 光电元件 包括有光电池和