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Photop Confidential 镀膜质量指标检测 Date: 7-13 Prepared: 陈本豪 Rev.: 02 … … … 镀膜过程 质量指标 光谱指标 散射 膜层牢固度 外观质量 损伤阈值 膜层吸收 其他指标 相位角… 性能指标 镀膜过程质量指标汇总 时间安排计划表 已发布规范 外观类检测规范 6月 未完成　 　新增待定　 相位角测量规范 优化流程　 　 　 　 　 　 　 　 膜层牢固度测量规范 损伤阈值延误　 　 　 　 　 　 　 　 损伤阈值过程控制规范 新定规范　 　 　 　 　 　 　 　 膜层吸收、散射测试流程 更新规范　 　 　 　 　 　 陪镀片放置规范更新 　 　 　 　 　 　 　 曲线制作规范更新 7月 　 　 　 　 　 　 　 性能指标检测规范更新 　 合并发行　 　 　 　 　 　 　 　 　 光谱指标检测规范更新 5月 进度 6-26 6-22 6-15 6-8 6-1 5-25 5-18 内容 月份 现场已执行，文件待发布 正在开展中 文件已定稿或发布 异常提报流程优化 过程异常提报流程 规范测量方法 改善前： 检测发现异常通知镀膜工程师确认，工程师更改不合格判定存在误差和风险 改善后 检测发现不合格除增加工程主管、测试工程师、镀膜QE，更改检测的不合格判定须经过共同评估 输入：膜系、波长、入射角、偏振 过程：仪器、入角度、偏振、陪镀片、判定方法 输出：过程曲线报告、发货曲线报告 光谱/性能 指标改善 更改陪镀片放置要求（6.6.2），增 加测量数量，改善透过率测试均匀 性 改善前： 测试T%, 公差角度测试仅中间圈 改善后： 除中间圈外，增加最内、最外圈公差角度测量 改善测试均匀性 信息传递与监控 FQC/OQC审核： 负责按照新规范对过程曲线、发货曲线进行审核，包含测量完整性、指标是否合格、是否正常流转等 光谱/性能指标 膜层牢固度 光谱/性能指标 各车间镀膜记录汇总 生成ORT样品清单 按清单要求送样并登记 样品接收、测试、反馈 送样率统计并反馈 OQC出货监督 送样实施流程优化 ORT送样完成率 53.69% 50.18% 99.16% 0.00% 20.00% 40.00% 60.00% 80.00% 100.00% 2011年 Q1 5月 100% 6月 吸收、散射 膜层牢固度 光谱/性能指标 检测流程 测试设备 弱吸收仪 散射积分球 合格 不合格 合格或特认 镀膜人员送检 分光计接收 功率计人员测试 正常流转 FQC审核 指标判定 返修或报废 图纸有要求？ 结束 不合格 散射：散射仪6/4日搭建后开始测试，镀膜检测人员已实施培训并从7/9后实施测试。 外观质量 吸收、散射 膜层牢固度 光谱/性能指标 漏膜检查：下盘过程中100%检查是否产品是否有漏膜现象 挡边检查：随机抽取3片，使用体式显微镜检查 光洁度：镀后随机抽取5%（样品不足3片的检查3片， 包含道子、点子、印迹、膜色不均、崩边等。 相位角 外观质量 吸收、散射 膜层牢固度 光谱/性能指标 合格 不合格 按圈流转 镀后按圈抽检 不合格品分圈烘烤 发货 按圈全检 结果判定 返修或报废 异常处理 流程 不合格 按圈全检 车间抽检 不合格 合格 合格 合格 不合格 合格 目前相位角镀膜工艺不成熟，暂定检验流程如下： 1、镀膜抽检标准：按产品图号，每圈抽检3片，单片θ 4°,波动Δ 1°； 2、车间抽检标准：按产品图号，每圈抽检1片，共3片，单片θ 5°. Photop Confidential