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晶粒，颗粒，团粒 材料中存在有 团粒 颗粒 晶粒 粒度仪测量的是团粒，XRD小角散射测量是颗粒，广角衍射测量是晶粒 薄膜、多层膜的结构、厚度、粗糙度的测定 采用平行光路，X射线管固定不变－掠射角在0.2 - 4 0 (θ)。探测器沿2θ扫描。 与聚焦光路相比，入射线在薄膜走的光程增加了数倍至数拾倍。 根据掠射角不同，对不同层深扫描获得的各种衍射花样，鉴定各层的物相组成 根据获得的衍射花样，鉴定各层的厚度及粗糙度。 原位反应器 原位反应器 样品室可以通过某一种气体，在某一个温度条件下（小于600度)，用衍射仪测试样品中物相的变化。 电池反应器：在通电的情况下，测试电池材料的物相变化 高分辨率及错配度测定 用高平行度的光路( 小于 0.01度) ，由于是一条宽度很小的光束(0.4 -1.2毫米),所以照射到样品上，引起测量的误差 THE END 晶带，晶面间距和晶面夹角 §2-3 衍射的概念与布拉格方程 d ? 入射线 晶面 2dSin ? = n? 布拉格方程 XRD XRF d 晶面间距 未知 已知 ? 布拉格角 测量 测量