扫描电镜的成像原理 范小龙.ppt

只做学术交流之用，请勿做商业用途，转载请说明出处！扫描电镜的成像原理与具体测试时的基本常识 范小龙 报告结构 扫描电镜的成像原理 简单介绍电镜的使用情况 观察样品前的准备工作 正式观察样品时注意的几个问题 总结 报告结构 扫描电镜的成像原理 简单介绍电镜的使用情况 观察样品前的准备工作 正式观察样品时注意的几个问题 总结 报告结构 扫描电镜的成像原理 简单介绍电镜的使用情况 观察样品前的准备工作 正式观察样品时注意的几个问题 总结 报告结构 扫描电镜的成像原理 简单介绍电镜的使用情况 观察样品前的准备工作 观察样品时需要注意的几个问题 总结 第一部分：扫描电镜的成像原理 电子束与固体的相互作用 右图为在0到E0范围内测量样品发射所有电子的能量分布的，其中E0为入射电子的能量。 三个区间： 弹性散射（背散射电子） 非弹性散射对电子能量的吸收 二次电子的发射（E50 eV） 二次电子的产生 二次电子的产生：高能束电子与弱结合的导带电子相互作用的结果。这种相互作用的过程只造成几个电子伏的能量转移给导带电子。 二次电子从固体表面的逃逸几率： λ为二次电子的平均自由程，对于金属约为1 nm，对于绝缘体则为10 nm。 二次电子怎样来反映样品表面信息 基于刚才提出的假设，在入射电子束相同的情况下，二次电子的产量随样品形貌的变化是： 各种情况小结 扫描电镜的最终成像 立体逼真的扫描电镜图像 我们眼中所见到的一切景物均和光线的照射有关，如果没有了任何光线，那么我们将看不到一切物体形状和他们的颜色，而且就是光决定了物体立体感产生的效果。（引自《Photoshop照相馆的故事》） 扫描电镜照片中的阴影立体效果 物体远近不同产生的立体效果 扫描电镜照片中的边缘效应 第二部分：简单介绍电镜的使用情况 按照样品类型分类： 粉 颗粒 薄膜 包括表面形貌与断面观察 纳米线 纳米棒 纳米管 AAO 膜板与其他 粉 颗粒 薄膜 纳米线 纳米管 AAO 膜板与其他 第三部分：准备工作 结合刚才讲过的扫描电镜的原理，大家来讨论一下，对样品应该有什么要求？？ 尺寸 真空 污染 导电性 热稳定性 与电子的相互作用 样品准备的第一阶段-固定 目前采用三种固定样品的方法，一种是用导电银粉胶（液态，类似于一般的胶水，粘稠状），另一种是用导电双面胶（与我们平常使用的双面胶非常类似），最后一种是直接将含有样品的溶液滴在样品托上烘干（比较危险）。 粉末类样品的固定 此方法适用于各种粉末类样品的观察，例如纳米颗粒，纳米棒等。 薄膜类样品的固定 此方法适用于类似于薄膜的片状样品的固定，其中包括AAO膜板。 标记样品 这样做有两个好处： 方便的在低倍数下（最小放大倍数30）快速准确地找到自己的样品 可以确定样品的范围，不会找到其他地方去 改善样品表面导电性的方法之一：镀金 为什么要改善样品的导电性？ 用电子束轰击样品，相当于给样品充电。当样品的导电性很差时，会在其表面积累负电荷并形成负电场，排斥和散开入射电子束，杂乱地改变电子的方向和二次电子发生数量，给出异常反差的图像，严重时样品信息无法获得。 镀金的“坏处”：金膜自身的形貌 金膜本身的形貌对于样品信息的干扰 在镀金之前应该想到的 要对自己样品形貌的大致估计，有两个作用： 事先考虑到金膜对于样品信息的干扰 控制金膜的厚度已达到最好的观看效果 准备工作小结 最好在测试之前和测试人员先预约，讨论 在正式测试之前，首先要对自己样品的形貌做大致估计。 选取适当大小的样品。 固定样品，要做到两点，一是稳定性好，而是导电性好。 标记样品 对样品充分烘干，而且要用强风吹去那些粘结不牢的小颗粒。 对于导电性非常差的样品表面要镀金，但是镀金后的效果要心里有数。 经典对白 甲：我最近想看两个样品 乙：行，什么样品 甲：颗粒 乙：什么成分 甲：XXX氧化物 乙：溶液中的还是干的 甲：干粉 乙：主要想看什么 甲：颗粒大小 乙：噢，那导电性怎么样，你以前看过SEM没？ 甲：不知道，没看过 乙：弄不好得镀金 甲：啊~，去哪里镀，咱们这里有吧 乙：有，那你颗粒大小多少 甲：可能20纳米左右吧 乙：金颗粒一般10nm左右，可能到时候不好分辨 甲：啊~ 那怎么办 乙：先不镀金试试看，不行咱再镀 甲：好，我啥时候去 乙：星期二早上过来我给你看 甲：好的，就在物理楼一楼左手吧 乙：嗯，到时候早点来，我9点肯定在 甲：好 乙：来得时候记得带导师签字的条子，不带不给测 甲：你放心，一定带来，走了 乙：88 第三部分：观察样品时需注意的几个问题 数据的可比较性： 为了便于不同样品之间的比较，照片固定几个放大倍数（最好为整数 1k 10k 20k 50k）。最好是由小到大，可以得到样品整体的信息。 看电镜的目的，解决什么问题 看电镜的目的，解决