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- 2019-09-03 发布于福建
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微电子学概论;2;提纲;“微电子”不仅仅需要微电子;微电子与真实世界的交互;World;智能系统需要感知世界的信号;终极微电子系统;什么是微机电系统;为什么需要MEMS;为什么需要MEMS?;什么是MEMS?;MEMS的科学;MEMS的好处;MEMS的分类;世界第一支静电加速度计;固态硅微卫星;微马达;MEMS的挑战;MEMS的挑战;MEMS的挑战;MEMS制造技术;23;LIGA 工艺;MEMS工艺;未来3D IC的CMOS-MEMS集成技术;MEMS 器件;非常重要的几类MEMS器件;电容式加速度计;电容式加速度计(放大图);微镜面;微光栅;微透镜;微型光学台面;微光开光;便携式化学传感器;微马达;微型喷嘴;微型喷嘴;微型喷嘴;3D IC – 超越摩尔定律;;三维空间上的摩尔定律;超越摩尔定律;3D IC技术的类型;基本结构;TSV(深硅通孔)工艺;TSV 3D IC技术的挑战;;小结;作业
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