基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计制作.pdfVIP

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2019-09-07 发布于湖北
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基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计制作.pdf

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第21卷第2期传感技术学报 v01．21No．2 CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS 2008年2月 JOURNAL Feb．2008 andFabricationofthe FlexibleMEMS Design Polyimide-Based TactileForceSensor。 Capacitive XIAO Yue-linl Xin-xinl，WANG Su-yanl”，CHEL扩知咒g¨，LI 1．State Transducer Institute and KeyLaboratoryof Technology，ShanghaiofMicrosystem r Information、 I Technology，ChineseAcademyofSciences，Shanghai200050，China； I School 2．Graduate theChinese 100049，China I of AcademyofSciences，Betiing J robotics a Abstract：This anew tactilesensorfor or andintroduces paperpresentscapacitive prostheticapplications newflexibleMEMS tOfabricateiton substrate．nesensorstructurecon— technique liquidspin-coatedpolyimide sistsof and thinfilms．Thewas tOthestructure inorganic processproperlyintegratedaccording organic multilayer its is characteristicofsensorand materials ofthesensor，andthe processableproperties optimizedprocesssimple， MEMS first ofthePDMSin- cost-effectiveand withconlnK)n introduction compatible technology．Especially，the filmbetweenthecarrierandthe substratefacilitate