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第 卷 第 期 半 导 体 学 报
年 月
基于实际结温分布中小电流过趋热效应的验证
朱阳军 苗庆海 张兴华 卢烁今
山东大学物理与微电子学院济南
摘要对于从红外热像图得到的实际的晶体管结温分布通过热谱分析方法获得该温度分布对应的热谱曲线进
而建立了晶体管子管并联模型并在此基础上经过实验和理论计算证实了 结中小电流过趋热效应存在的真实
性 当结温分布不均匀时对于通过 结的电流小电流比大电流更具有趋热性 即电流越小高温区与低温区电
流密度的比值越大电流越集中在高温区且集中区域的面积随着电流的减小而缩小 利用这一特性可以研究器件
热电不稳定性结温分布的不均匀性及不均匀度峰值结温的估算等这对于半导体器件可靠性分析具有重要的
意义
关键词热谱曲线电流密度过趋热性有效面积
中图分类号 文献标识码 文章编号
结温分布为基础通过热谱分析方法获得相应的数
引言 据进而建立物理模型并通过实验和理论两方面分
别进行对比验证
流经 结的电流具有正温度系数当其工作
时由于器件的热电不稳定性可以引起芯片局域性
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