第六章 现代薄膜分析方法 20141028.pptVIP

一、测量原理：利用量子力学的隧道效应测量表面形貌！ 1、利用一根非常细的钨金属探针实现测量； 2、当针尖与样品表面距离极小时，针尖原子的外层电子会通过 “隧道效应”跳到待测物体表面上形成隧道电流； 3、由于样品表面原子级微小起伏会影响隧道电流的大小，只有 不断调整针尖相对于物体表面的高度才能维持恒定的隧道电 流，针尖高度的调整轨迹即可对应待测样品的表面形貌。 二、主要特点： 1、探针直径：0.1~10 ?m； 2、针尖-样品表面距离：1 nm左右； 3、分辩率：法向 0.01 nm，切向 0.1 nm (极高！)； 4、隧道电流的直接相关量是表面电子态密度，如果存在其它 影响电子态密度分布的因素，则可能得到“伪表面形貌”！ 5、要求待测样品具有导电性或者是半导体； 6、可在真空、大气、常温、低温等不同条件下工作，甚至样 品可浸在水、电解液、液氮或液氦中； 7、可观察到表面的原子结构，是显微镜技术的一大进展，也 成为纳米技术的主要分析工具 (如右图所示)； 8、可推动表面原子迁移，实现原子级表面重构 (如右图)！ 6.2 薄膜形貌/结构 （5 ）扫描隧道显微镜 (Scanning Tunneling Microscopy) STM的基本构成及原理图 STM测得的表面原子结构和实现的原子操纵 6 现代薄膜分析方法 一、出发点： 利用激发源 (如：电子束、离子束、光子束、中性粒子束等)，有时还加上电磁场、温度场的辅助，使被测样品发射携带元素成分信息的粒子，实现化学组成、相对含量的分析。 二、主要分析方法： 6.3 薄膜成分 概述 薄膜成分表征的基本原理 分析方法 元素范围 探测极限 /% 空间分辩率 深度分辨率 入射束 出射束 X射线能量色散谱 EDX Na~U 0.1 1 ?m 1 ?m e ? (x-ray) 电子探针 EPMA B~U 0.01 俄歇电子能谱 AES Li~U 0.1-1 50 nm 1.5 nm e e X射线光电子能谱 XPS Li~U 0.1-1 100 ?m 1.5 nm ? (x-ray) e (光电子) 卢瑟福背散射 RBS He~U 1 1 mm 20 nm i+ i+ 二次离子质谱 SIMS H~U 0.0001 1 nm 1.5 nm i+ i+II (次级靶离子) 6 现代薄膜分析方法 一、概念及特点： 1、AES：以电子束激发样品中元素的内层电子，使之发射出Auger电子，然后接收、分析这些俄歇电子的能量分布，达到分析样品成分的方法。 主要用于厚度2 nm的表面层内除氢和氦以外的所有元素的鉴定。P179 2、特点： ? 一般需要在超高真空 (P 10-8 Pa)环境下进行，以避免样品表面被污染； ? 一般都有离子枪装置，以对样品表面进行离子轰击清洁样品表面， 并可通过溅射进行离子刻蚀，进行深度分析； ? 电子的加速电压一般仅为2000 eV左右，远低于电镜分析。 6 现代薄膜分析方法 6.3 薄膜成分 1. 俄歇电子能谱 (AES, Auger Electron Spectroscopy) 最主要的薄膜和表面分析技术之一。 应用 P180 最表层 (10?)：俄歇电子 6.3 薄膜成分 2. 电子显微探针分析 (EMA) 4 一、概述： 1、EMA的概念：以具有一定能量、精细聚焦的电子束照射样品， 使样品局部微米级区域内激发出特征X射线，对 特征X射线进行谱分析获得材料微区成分的方法。 2、特点： ? 其探测区域很小 (?m级)，因此得名电子显微探针分析； ? 因其入射高能粒子束为电子束，因此广泛与 SEM/TEM 结合，成为材料研究中使用最广泛的成分分析手段！ 3、分类： 二、EDX： 1、核心部件：反向偏置的 Si/Li 二极管 ? 将接收到的X射线光子转换为电压以实现脉冲计数。 2、测量原理：不同能量的X射线 ? 激发出不同数量 (n) 的电子-空穴对 ? 接收二极管的脉冲电压 V ? n  ? 获得入射X射线能量 E-I (强度计数) 关系 ? 能谱图 ? 3、特点：测量速度快，但能量分辩率较低 (仅150 eV左右) ? 对能量接近的不同特征X射线的分辨能力较差！ EMA的测量原理示意图 Ni基合金的EDX谱实例 6 现代薄膜分析方法 6.3 薄