非常有用的固体物理实验方法课第4章_透射电子显微镜.docVIP

第4章透射电子显微镜 同学们好！今天我们学习的内容是第4章透射电子显微镜，（transmission electron microscopy）简称 TEM。下图就是我们今天要介绍的仪器。 那么透射电子显微镜在什么情况下产生的？又有什么功能和作用呢？下面我们就简单介绍一下它的历史背景和其功能和作用。 在光学显微镜下有的细微结构也无法看清，这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构，就必须选择波长更短的光源，以提高显微镜的分辨率。1932年Ruska等发明了以电子束为光源的透射电子显微镜，电子束的波长要比可见光和紫外光短得多，并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比，也就是说电压越高波长越短。目前TEM的分辨力可达0.2nm。 透射电子显微镜(Transmission Electron Microscopy，TEM)，简称透射电镜，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像。通常，透射电子显微镜的分辨率为0.1～0.2nm，放大倍数为几万～百万倍，适于观察超微结构。 透射电子显微镜在材料科学、生物学上应用较多。由于电子易散射或被物体吸收，故穿透力低，样品的密度、厚度等都会影响到最后的成像质量，必须制备更薄的超薄切片，通常为50～100nm。所以用透射电子显微镜观察时的样品需要处理得很薄。 那么我们总结以上内容可以给透射电子显微镜下一个简单的定义： 用透过样品的电子束使其成像的电子显微镜。在一个高真空系统中，由电子枪发射电子束，穿过被研究的样品，经电子透镜聚焦放大，在荧光屏上显示出高度放大的物像，还可作摄片记录的一类最常见的电子显微镜。 那么本章主要分为5个部分组成。 4.1 电子光学基础 4.2 电子与固体物质的相互作用 4.3 透射电子显微镜 4.4 电子衍射 4.5 透射电子显微分析样品制备 下面我们就来讲第一节，4.1 电子光学基础。本节内容有三部分组成 4.1.1 电子波与电磁透镜 4.1.2 电磁透镜的分辨率 4.1.3 电磁透镜的景深和焦长 那么我们再回顾一下以前所学的内容。 由于光的衍射，使得由物平面内的点s1、s2在象平面形成圆斑（Airy斑）。若s1、s2靠的太近，过分重叠，图像就模糊不清。 1. 光学显微镜的分辨率 最小分辨距离计算公式： ——最小分辨距离 ——波长 ——透镜周围的折射率 ——透镜对物点张角的一半， 称为数值孔径，用 N.A 表示。 2. 电子波的波长特性 比可见光波长更短的有： 1）紫外线 —— 会被物体强烈的吸收； 2）X 射线 —— 无法使其会聚 ； 3）电子波 根据德布罗意物质波的假设，即电子具有微粒性，也具有波动性。电子波 h ——Plank 常数 ， m —— —— 电子速度 显然，U 越大，越小，电子的速度与其加速电压有关。 即 所以 ，其中 则埃 即若被150伏的电压加速的电子，波长为 1 埃。若加速电压很高，就应进行相对论修正。 ① 若电子速度较低，则其质量和静止质量相近，即m m0则 ② 若加速电压很高，使电子具有极高速度，则经过相对论修正，有 加速电压/kV 电子波波长/nm 加速电压/ kV 电子波波长/nm 加速电压/ kV 电子波波长/nm 1 0.0338 20 0.00859 100 0.00370 2 0.0274 30 0.00698 200 0.00251 3 0.0224 40 0.00601 500 0.00142 4 0.0194 50 0.00536 1000 0.00087 5 0.0713 60 0.00487 10 0.0122 80 0.00418 讨论： 1. 提高加速电压，缩短电子波长，提高电镜分辨率。 2. 加速电压越高，对试样的穿透能力越大，可放宽对样品的减薄要求。 3. 如用更厚样品，更接近样品实际情况。 4. 电子波长与可见光相比，相差量级。 3. 电磁透镜 能使电子束聚焦的装置称为电磁透镜。 电磁透镜分为静电透镜和磁透镜，磁透镜又分为恒磁透镜和电磁透镜。 电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散。 由静电场制成的透镜—— 静电透镜。 由磁场制成的透镜 —— 磁透镜。 磁透镜和静电透镜相比有如下的优点： 静电透镜 1. 需改变很高的加速电压才可改变焦距和放大率； 2. 静电透镜需数万伏电压，常会引起击穿； 3. 象差较大。 磁透镜 1. 改变线圈中的电流强度可很方便的控制焦距和放大率； 2. 无击穿，供给磁透镜线圈的电压为60到100伏； 3. 象差小。 1）磁透镜使电子会聚的原理 电子在磁场中要受到磁场作用力： 即 2）电磁透镜的结