原子力显微镜课件.pptVIP

原子力显微镜;1982 年,Gerd Binnig 和Heinrich Rohrer 共同研制成功了第一台扫描隧道显微镜( scanning tunneling microscope ,STM), 1986 年,Binnig 和Rohrer 被授予诺贝尔物理学奖。衍生出一系列扫描探针显微镜（Scanning Probe microscope）;原子力显微镜(Atomic Force Microscopy, AFM)是由Binnig与史丹佛大学的Quate 于一九八五年所发明的;AFM的优点;原子级的高分辨率;观察活的生命样品;加工样品的力行为;3.1 原子力显微镜简介; 立式AFM ( Hansma等, 1988 ) ;3. 原子力显微镜的总体结构组成 ;3.2 原子力显微镜的测量和扫描模式;AFM的三种扫描成像模式 ;1）接触扫描成像模式 ;AFM轻敲扫描针尖振荡示意图 ;3.3 探针与试件间的作用力 ;探针－试件间距离在10 μm左右时，空气阻尼力 探针－试件间距离在100～1000nm时，主要静电力和磁力相互作用 探针－试件间距离在10～100nm处，吸附水膜产生几百nN吸引力的毛细力 针尖－试件距离到达10 nm左右时 ，原子(分子、离子)间吸引的范德华力 针尖－试件间距离小到1 nm以内时，原子间相互排斥的厍仑力开始起作用 ;2. AFM工作时针尖－试件间的相互作用力 ;范德华力，由三部分组成： (1) 偶极－偶极相互作用力，即两个偶极子之间的作用力； (2) 偶极－感应偶极间的相互作用力,同被它感应的偶极子间的相互作用力； (3) 色散力，它存于中性的原子或分子间。这些中性的原子或分 子的时间平均偶极矩为零，但是由于电子不断围绕原子核运 动，在某一瞬间可能产生一定的偶极矩，使得中性原子或分 子之间产生瞬时间偶极矩作用，从而产生了色散力。 ;2）针尖－试件原子间作用力和距离的关系 ;3）针尖和试件“接触”的概念 ;3. 悬臂－针尖－试件相互作用的动力学分析 ;3.4 毛细力和AFM在液体中测量 ;2. 毛细力及其对AFM测量的影响 ; 现在还不能完全控制AFM在液体中不同条件时的针尖－试件间的相互作用力，作用机理也不完全清楚。但AFM在液体中测量时，因消除了毛细力，可以使针尖－试件间的作用力，比在真空中测量降低两个数量级。这对检测柔软生物细胞，低弹性模量的软质材料极为重要。 ;水下Au(111)的AFM图像(Manne,1990) 原子分辨率的起伏幅度约1 ?。 ;3. 5 影响AFM测量精度的若干问题分析 ;1)在AFM采用接触测量时，ki 0，实测高度Δz将小于试件表面真实的起伏。 2)在AFM采用恒力测量模式时，针尖一试件间的相互作用力需保持不变。当检测中作用力发生变化kiΔh时，反馈系统通过改变Δz,使悬臂的变形力产生变化, 而达到平衡 ：kc (Δz – Δh) = ki Δh;3. 探针尖曲率半径对测量结果的影响 ;4. 试件表面廓形高低起伏不平对测量结果的影响 ;3.6 AFM的微悬臂和针尖;2. 微悬臂和针尖的结构形式 ; a)玻璃基板带4个微悬臂 b)单个带针尖的V形微悬臂 c)金字塔形针尖 (1.75 mm×1.30 mm) (142 μm×105 μm) (4.2 μm×3.2 μm) 带金字塔形针尖的Si3N4一体化V形薄片微悬臂(C.Quate);5) 带圆锥形针尖的一体化的V形薄片微悬臂 ;6) 粘晶须针尖的微悬臂 ;7) 碳纳米管针尖的微悬臂 ;3. 微悬臂的力学性能分析 ;4) 若干AFM的微悬臂的物理力学性能 ;3. 7 AFM针尖作用力和悬臂变形位移的测量 ;3. 电容测量法 ;5. 激光反射测量法 ;3.8 微悬臂的激振;不同ω/ω0比值时的微悬臂振幅 ;存在F 双压电晶片驱动微悬臂的振动 ;力梯度F’使微悬臂的共振产生变化 ;云母AFM图像;AFM图像-积层电路 ;AFM图像-材料缺陷 ;1988 年，Albrecht 等人首次用它观测聚合物膜的表面，从此AFM 为聚合物膜的研究敞开了一扇崭新的大门。;分辨率能达到原子分辨水平； 样品不需复杂的预处理，避免了由此所带来的测量误差； 对操作环境的要求较宽松，在空气或液体(水、氯化钠溶液等)中 观测都可以； 操作力很小，能成功地观测软的物质表面。 ;AFM在聚合物膜研究的应用现状;1 表面整体形态研究;Fig. 1. Section analysis of TM-AFM image.;Fig. 2. Three-dimen