三维集成电路概述.pdf

第 章 1 三维集成电路概述 。 集成电路由一层半导体器件和多层互连线组成 早期提高性能和扩展功能的重点都集 , ( ) 、 , 中在晶体管层面 即通过减小特征尺寸 CriticalDimension实现更高的速度 更低的功耗 [] 1 。