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第二章 电子显微分析 第一节 基本原理--显微镜 眼晴的局限性， 准确性、灵敏性、适应性和精密的分辨能力。 人眼观察物体的粒度极限为0.1mm！ 光学显微镜 可以看到象： 细菌、细胞 那样小的物体。但光学显微镜超过一定放大率以后就失去了作用，最好的光学显微镜的放大极限是： 2000倍 阿贝(Abbe E.K.) 定律 此式叫做Abbe,式中: r—分辨本领 它表示试样在光学显微镜上能分辨的最小两个点之间的距离 λ—照明光的波长 n—透镜所处环境介质的折射率 а—透镜孔径半角 --数值孔径(Numrical Aperture),用N.A表示 阿贝定律的意义 由阿贝定律知： 减小r值的途径有： (1)↑(物镜的数值孔径)N.A，即↑n和α (2)↓λ 当用可见光作光源，采用组合透镜、大的孔径角(即用高倍数物镜)以及高折射率介质浸没物镜时，数值孔径N.A可提高到1.5～1.6。 得r≌λ/2 光学显微镜的极限分辨本领大约是所使用的照明光线波长的一半 德布洛依电子波概念 X射线的波长很短，在0.05～10nm范围，但是至今还不知道有什么物质能使X射线有效地改变方向、折射和聚焦成像，即X射线很难操纵。 电子显微镜的发展简史 1932年克诺尔(Knoll M.)和鲁斯卡(Ruska E.)在德国制作了第一台透射电镜TEM TEM--Transmission Electron Microscope 1939年，商品电子显微镜已在市场上出现，德国西门子公司生产了分辨本领优于10nm的商品电子显微镜。 我国1959年开始制造电镜。 现代透射电镜的放大倍数可以达到200万倍以上，其分辨本领已经达到原子大小的水平。 扫描电子显微镜 电子显微镜下的液晶分子形态 电子显微镜下的液晶分子形态 电子光源1 初速度的电子，受到电位差为U的电场加速获得能量，根据能量守恒原理，假设Ｕ不太高，电子获得的动能为： ∵ ∴ 由 电子的波长为： 电子光源2 电子显微镜电压一般大小几十kV，此时电子的速度接近光速，必须考虑相对论效应。 另外，在电位差为U的电场作用下，一个静止电子所获得的动能等于电子的总能量mc2与静止能量m0c2之差，即： 电子光源3 由上两式可得： 因此电子的速度为： 电子的波长计算公式为： 电子光源4 常用加速电压与电子波的波长： 透射电镜的加速电压一般在50～100kV，电子的波长在0.00536～0.00370nm比可见光的波长小几十万倍。比结构分析中常用的X射线的波长也小1～2个数量级。 电子透镜---电子光学折射定律 电子在静电场中受到的洛伦兹力(Lorentz)为 : 式中 为电场强度矢量。 电子透镜---电子光学折射定律 如果电子不是沿着电场的方向运动(沿电场为直线运动)，电场将使运动的电子发生折射。电子从电位为U1的区域进入电位为U2的区域(界面为AB)，如图所示： 电子透镜---电子光学折射定律 在界面处，电子速度由 是它们相应的切向分量，由于在平行于界面的方向没有电场力的作用，因此有： 这里α1,α2为电子运动方向与电场等位面的法线间的夹角。 电子透镜---电子光学折射定律 静电透镜 ● 阴极: 零电位 ● 阳极: 正电位 ● 控制极: 负电位。 阴极尖端附近的自由电子在阳极作用下获得加速度。控制极附近的电场(推着电子)对电子起会聚作用，阳极附近的电场对电子有“拉”作用，即有发散作用，但因这时电了的速度很大，所以发散作用较小。 静电透镜---受力分析 电子在控制极附近时(A点)。电场强度矢量E垂直于电场等位面，指向电位低的方向，电子受到的作用力F与E的方向相反： F→Fz,Fr (Fz: 平行对称轴, Fr向对称轴) Fz和Fr的作用使各个方向的电子向轴靠近，形成向轴会聚的电子束。 在阳极附近，如在B点： F→Fz,Fr (Fr背离对称轴的方向) 静电透镜---受力分析 静电透镜---结论 轴对称的弯曲电场对电子束有会聚成像的性质，这种 对称的电场系统----被称为静电电子透镜(简称静电透镜)。 静电透镜主要用做各种电子显微镜的电子枪，因为只有静电场才可能使自由电子增加动