低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究!.pdf

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 8 ##’ 8 ， ， ， JA1 - WA - 8 Q/*EO ##’ （ ） $###8:#I ##’I #8 I $$(#’ )9T) R4UPV9) PVWV9) !##’ 9O?; - RO3D - PAE - 低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面 的刻蚀效应研究! ! 王 森 俞国军 巩金龙 李勤涛 朱德彰 朱志远 （中国科学院上海应用物理研究所，上海 #$%## ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ## ’ $ ## ( + + 用低能氩离子束（ ）处理了多孔铝阳极氧化膜（ ）表面 扫描电子显微镜和原子力显微镜结果表明， )* )), - )* 束刻蚀不仅可以有效地去除)), 反面阻挡层，还可使 )), 表面产生多种特殊的形貌，如采用倾角入射可使其表面 产生波纹，倾角入射同时旋转样品台，可实现表面抛光 并结合 和 提出的无定形材料表面波纹的形成 - .*/0123 4/*52* 和演化理论解释了)), 表面波纹的特征- 关键词：多孔铝阳极氧化膜，离子束刻蚀 ： ， !## %%#6 ’$%#7 易控 我们用 的 + 束处理了 表面，发 - ##2J )* )), $F 引 言 现)* + 束刻蚀不仅可去除)), 阻挡层，使)), 孔道 贯通，还可以使)), 表面产生多种有趣的自组装形 在上世纪 年代，多孔铝阳极氧化膜（ ）就 貌 关于 表面离子刻蚀形貌研究目前尚无报 # )), - )), 开始应用于铝的抗腐蚀、抗磨损、表面着色、装饰等 道，本文给出了几种特殊的刻蚀形貌，并对这些形貌 方面；近年来， 因具有垂直于表面的纳米孔道 的形成机理做了初步探讨 )), - 阵列，在纳米材料科学中得到了重要应用，主要被用 ［，］ 作制备纳米结构的模板，例如碳纳米管 $ 、纳米