光阻镀膜机与湿蚀刻清洗机之制程与设备技术实务-管理学院.pdf

東南技術學院機械工程系 專題製作報告 光阻鍍膜機與濕蝕刻清洗機之 製程與設備技術實務 指導老師 ：王 俊 程 學 生 ：楊 文 凱 李 岱 昀 中華民國90 年 12 月 25 日 - 1 - 摘要 目錄 第 一 章 簡 介… … … … … … .… … … … … … … … … … … … … … … … … … ..… 1 第 二 章 光阻鍍膜機製程介紹… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 2 2.1 光阻的化學性質與作用… … … … … … .… … … … … … … … … … … … … .2 2.2 光阻化學成分簡介… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ...3 2.3 光阻劑主成之要點… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 5 2.4 去水烘烤／ＨＭＤＳ … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ..6 2.5 光阻塗佈機製程原理及關係式… … … … … … … … … … … … … … … … ...7 2.6 軟烤的溫度控制… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .9 第 三 章 光阻鍍膜機設備介紹… … … … … … … … … … … … … … … … … … … .10 3.1 機構介紹… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 10 3.2機台零件名稱之介紹… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .13 3.3 機台保養之注意… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .14 3.4 光阻劑名稱種類… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .16 3.5 機台的清洗及管路介紹… … … … … … … … … … … … … … … … … … … .17 - 2 - 第 四 章 北區微機電中心光阻塗佈機實作介紹 4.1 操作面板 … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 18 4.2 機台自動操作模式… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ...21 4.3 機台循環系統介紹… … … … … … … … … … … … … … … … … .… .… … .22 第 五 章 濕蝕刻清洗機(去光阻)製程介紹 5.1 清洗理論… … … … … … … … … … … … … … … … .… … … .… … … … .… .23 5.2 清洗配方… … … … … … … … … … … … .… … … … … … ...… … … … .…