化学沉铜工艺技术探讨-表面活性剂.pdfVIP

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维普资讯摄繁交流文李明化学沉铜工艺技术探讨接上期含有的一联吡啶和在化学镀铜液中添加微量的含羧基醚基的亚硝基五氰络铁酸钠或亚铁氰化钾以及的高分子表面活性剂它能有效地防止低溶液的表面以上的聚氧乙烯类非离子表面活性剂能张力提高溶液对深孔的润湿能力另外还有效地改善化学镀铜层的外观和延展性能缩短氢气在反应面上的滞留的时间改善镀层结影响化学镀铜沉积速度的因素构提高镀层韧性同时这些高分子化合物还能有这些因素有溶液的值离子浓度络效地选择性地吸附在溶液中的分散颗粒的表面使合剂的性能和用量还原剂的性能和用量添加剂的

维普资讯 …:|ll摄繁交流 I TECHNOLOGY EXCHANGE ■文/李明 化学沉铜工艺技术探讨 (接上期) 含 有 10~200ppm的 0c, 0c一联 吡 啶和 200~ o在化学镀铜液中,添加微量的含羧基、醚基 500ppm的亚硝基五氰络铁酸钠或亚铁氰化钾以及 的高分子表面活性剂,它能有效地防止低溶液的表面

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