Q_FY005-2019电子工业用气体 六氟化钨.pdf

Q/FY 山东飞源气体有限公司企业标准 Q/FY 004 －20 19 电子工业用气体 六氟化钨 2019-07-20 发布 2019-07-20 实施 山东飞源气体有限公司 发 布 Q/FY 004 －2019 前 言 本标准由山东飞源气体有限公司提出并起草。 本标准主要起草人：刘光宇、齐向东、潘波。 本标准为首次发布。 I Q/FY 004 －2019 电子工业用气体 六氟化钨 1 范围 本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输及贮存。 本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所 有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的 各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB 5100 钢质焊接气瓶 GB/T 6681 气体化工产品采样总则 GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB 7144 气瓶颜色标志 GB/T 8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法 GB 14194 永久气体充瓶充装规定 气瓶安全监察规程 3 技术要求 六氟化钨碳的质量应符合表1 规定： 表1 技术指标 项 目 指 标 六氟化钨(WF6)纯度（体积分数）/l0-2 ≥ 99.9 99.999 99.9995 99.9999 四氟化碳(CF4)含量（体积分数）/l0-6 ≤ 10 0.5 0.5 0.1 氮 (N2) 含 量 （ 体 积 分 数 ） /l0-6 50 1 0.5 0.1 (氧＋氩) (O2+Ar)含量（体积分数）/l0-6 ≤ 0.1 ≤ 50 0.5 0.5 二氧化碳(CO2)含量（体积分数）/l0-6 ≤ 0.5 0.5 0.1 一氧化碳(CO)含量（体积分数）/l0-6 ≤ 0.5 0.5 0.1 六氟化硫 (SF6) 含量（体积分数）/l0-6 10 0.5 0.5 0.1 四氟化硅(SiF4)含量（体积分数）/l0-6 ≤ 10 0.5 0.5 0.1 ≤ 氟化氢(HF) 含量（体积分数）/l0-6 800 5 1 0.