GB/T 14145-1993硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法.pdf

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  •   |  1993-02-06 颁布
  •   |  1993-10-01 实施

GB/T 14145-1993硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法.pdf

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国家标准、行业标准编制说明 《中华人民共和国标准化法》将中国标准分为国家标准、行业标准、地方 标准(DB)、企业标准(Q/)四级。 国际标准由国际标准化组织 (ISO)理事会审查,ISO 理事会接纳国际标准 并由中央秘书处颁布; 国家标准在中国由国务院标准化行政主管部门制定, 行业标准由国务院有关行政主管部门制定, 企业生产的产品没有国家标准和行业标准的,应当制定企业标准,作为组 织生产的依据,并报有关部门备案。 法律对标准的制定另有规定,依照法律的规定执行。 制定标准应当有利于合理利用国家资源,推广科学技术成果,提高经济效 益,保障安全和人民身体健康,保护消费者的利益,保护环境,有利于产品的 通用互换及标准的协调配套等。 中国标准按内容划分有基础标准 (一般包括名词术语、符号、代号、机械 制图、公差与配合等)、产品标准、辅助产品标准(工具、模具、量具、夹具 等)、原材料标准、方法标准 (包括工艺要求、过程、要素、工艺说明等); 按成熟程度划分有法定标准、推荐标准、试行标准、标准草案。 一份国标通常有封面、前言、正文三部分组成。 标准号:标准号至少由标准的代号、编号、发布年代三部分组成。 标准状态:自标准实施之日起,至标准复审重新确认、修订或废止的时间, 称为标准的有效期;又称标龄。 归口单位:实际上就是指按国家赋予该部门的权利和承担的责任、各司其 责,按特定的管理渠道对标准实施管理。 替代情况:替代情况在标准文献里就是新的标准替代原来的旧标准。即在 新标准发布即日起,原替代的旧标准作废。另外有种情况是某项标准废止了, 而没有新的标准替代的。 实施日期:标准实施日期是有关行政部门对标准批准发布后生效的时间。 提出单位:指提出建议实行某条标准的部门。 起草单位:负责编写某项标准的部门。 中华人民共和国国家标准 硅外延层堆垛层错密度测定 GB/T 14145一93 干涉相衬显微镜法 Testmethodforstackingfaultdensityofepitaxiallayers ofsilicon衍 interference-contrastmicroscopy 1主肠内容与适用范困 本标准规定了使用干涉相衬显微镜非破坏性测量硅外延层堆垛层错密度的方法。 本标准适用于硅外延层厚度不小于3ym、外延层晶向偏离{111}晶面或{100)晶面角度较小的试样 的堆垛层错密度测量。当堆垛层错密度超过15000cm-2或当外延层晶向与{111?晶面或{100}晶面偏离 角度较大时,测量精度将有所降低。 2 引用标准 GB2828 逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查) 3 方法提要 用干涉相衬显微镜,根据物体表面微小的高度差或倾斜,呈现出不同明暗衬度或色衬度而显示无明 显光吸收的硅表面的精细结构,以一个合适的放大倍数观察外延生长表面9个规定测量位置上的堆垛 层错数。在每个测量位置上,对所观察到的层错,包括单条直线、不完整多边形及完整多边形进行计数。 测量显微镜的视场直径,从9个测量位置上测得的层错数的总和及显微镜的视场直径可计算出试 样的外延层堆垛层错的密度。 4 测f仪器 4.,干涉相衬显微镜,物镜8-40X,目镜lox左右,带刻度的x一载物台,刻度精确到。.5mm, 4.2测微标尺,1mm长,最小分度0.01mm;5mm长,最小分度0.05mm, 4.3 螺旋测微计或游标卡尺,精确到0.1MM. 5 试验样品 5.1 测量试样的选取 从一批硅外延片中按GB2828计数抽样方案或商定的方案抽取试样。 52 参比样品的选取 5.2.1在干涉相衬显微镜下观察未腐蚀过的有堆垛层错的硅外延片,从中选取参比样品。 5.2.2 按检测步骤6.2.1-6.2.7条,一片至少测5次。计算该片层错密度的平均值及相对标准偏差。 5.2.3 将相对标准偏差不大于25%的硅外延片作为参比样品,供校对使用。 5.2.4 重复以上步骤,使得对于每种晶向、每个十进制位的堆垛层错密度至少收集到一个参比样品。 国家技术监督局1993一02一06批准

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