同步辐射用Au-Pt多层薄膜反射镜.PDFVIP

第42 卷 第3 期 核 技 术 Vol.42 ，No.3 2019 年3 月 NUCLEAR TECHNIQUES March 2019 同步辐射用Au-Pt 多层薄膜反射镜 陈加琪 齐润泽 冯宇飞 黄秋实 王占山 （同济大学 物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室 上海 200092 ） 摘要 同步辐射广泛使用Au 薄膜作为反射镜膜层，降低Au 薄膜的粗糙度以减小散射信号仍是难点。基于国 内外对Au 薄膜的研究，本文采用在Au 薄膜中插入Pt 间隔层的方法，制备了新型Au-Pt 薄膜。原子力显微镜 （Atomic Force Microscope ，AFM ）测试结果表明：采用1 nm 厚的Au 膜层和1 nm 厚的Pt 间隔层交替制备的方法 所获得的新型Au-Pt 薄膜，粗糙度小于0.3 nm ，明显小于传统Au 薄膜的粗糙度；通过X 射线衍射（X-ray Diffractometer ，XRD ）测试可以发现，Pt 间隔层的插入能够有效抑制Au 膜结晶。随着Pt 间隔层插入间隔的减 小，Au 膜结晶程度显著降低。根据AFM 测试结果，使用IMD 软件计算了传统Au 薄膜以及新型Au-Pt 薄膜的反 射率，发现新型Au-Pt 薄膜反射率比传统Au 薄膜略有提高，同时新型Au-Pt 薄膜的表面粗糙度更小，降低了散射 强度，提升了反射镜的实际性能。本文为用于同步辐射的高传输效率、高反射率的Au-Pt 薄膜反射镜的制备提 供了参考。 关键词 同步辐射，磁控溅射，Au-Pt 薄膜，表面粗糙度，反射率 中图分类号 O434 ，TL99 DOI:10.11889/j.0253-3219.2019.hjs.42.030101 Au-Pt coatings for synchrotron radiation applications CHEN Jiaqi QI Runze FENG Yufei HUANG Qiushi WANG Zhanshan (Key Laboratory of Advanced Micro-structured Materials, MinistryofEducation,School of Physics Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China) Abstract [Background] Au coatings are widely used as mirrors in synchrotron radiation. Decreasing the surface roughness of Au coatings to reduce scattering signals is still a major difficult problem. [Purpose] This paper aims to study the effect of Pt inter-layer on the surface roughness of Au coatings. [Methods] Based on the research of Au coatings at home and abroad, a new type of Au-Pt coatings was prepared by inserting Pt inter-layer into Au coatings. Effects