大尺寸氧化铝陶瓷导轨超精研抛工艺研究.pdfVIP

第１２卷　第３期 　　　　 　　中国光学　　　　　　　 Ｖｏｌ．１２　Ｎｏ．３ 　 　　 　　　　　　　 ２０１９年６月　 　 　 Ｊｕｎ．２０１９ ＣｈｉｎｅｓｅＯｐｔｉｃｓ 文章编号　２０９５１５３１（２０１９）０３０６６３０７ 大尺寸氧化铝陶瓷导轨超精研抛工艺研究 １，２ ３ ３ ３ ３ 刘　剑 ，蔡黎明 ，成贤锴 ，顾国刚 ，于　涌 （１．长春理工大学，吉林 长春 １３００２２； ２．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 １３００３３； ３．中国科学院 苏州生物医学工程技术研究所，江苏 苏州２１５１６３） 摘要：为了提高氧化铝陶瓷导轨超精密研抛加工的工作效率，分析了研抛压力、研抛速度以及磨料添加间隔等工艺参数 与研磨抛光效率的关系。首先，根据氧化铝陶瓷导轨的特性及物理参数，确定研磨抛光盘以及磨料的选型。然后以高精 度平面平晶作为检测工具，平晶与导轨表面形成干涉条纹，利用条纹的数量定量表征研抛效果。最终得到氧化铝陶瓷导 轨的最佳工艺参数：每个研抛压力应该控制在４０Ｎ；研抛线速度为４５ｍ／ｍｉｎ；研磨剂的添加时间为３０ｍｉｎ。在同等时间 内，应用此套工艺参数可以达到更高的面型精度。 关　键　词：高精度；陶瓷导轨；超精研抛 中图分类号：ＴＨ１６３；ＴＨ１６２＋１　　文献标识码：Ａ　　ｄｏｉ：１０．３７８８／ＣＯ０６６３ Ｕｌｔｒａｐｒｅｃｉｓｉｏｎｇｒｉｎｄｉｎｇａｎｄｐｏｌｉｓｈｉｎｇ ｍｅｔｈｏｄｏｆｌａｒｇｅｓｃａｌｅＡｌＯ ｃｅｒａｍｉｃｇｕｉｄｅｓ ２ ３ １，２ ３ ３ ３ ３ ＬＩＵＪｉａｎ ，ＣＡＩＬｉｍｉｎｇ，ＣＨＥＮＧＸｉａｎｋａｉ，ＧＵＧｕｏｇａｎｇ，ＹＵＹｏｎｇ （１．ＣｈａｎｇｃｈｕｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００２２，Ｃｈｉｎａ； ２．ＣｈａｎｇｃｈｕｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓ，ＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄＰｈｙｓｉｃｓ， ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００３３，Ｃｈｉｎａ； ３．ＳｕｚｈｏｕＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＢｉｏｍｅｄｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｃｈｉｎｅｓｅ ＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｓｕｚｈｏｕ２１５１６３，Ｃｈｉｎａ） Ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇａｕｔｈｏｒ，Ｅｍａｉｌ：ｙｕｙ＠ｓｉｂｅｔ．ａｃ．ｃｎ Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＩｎｏｒｄｅｒｔｏｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｕｌｔｒａｐｒｅｃｉｓｉｏｎｐｏｌｉｓｈｉｎｇｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙｏｆＡｌＯｃｅｒａｍｉｃｇｕｉｄｅｓ，ｔｈｅｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐ ２ ３ ｂｅｔｗｅｅｎｐｏｌｉｓｈｉｎｇｐａｒａｍｅｔｅｒｓｓｕｃｈａｓｐｏｌｉｓｈｉｎｇｐｒｅｓｓｕｒｅ，ｐｏｌｉｓｈｉｎｇｓｐｅｅｄ，ａｂｒａｓｉｖｅａｄｄｅｄｉｎｔｅｒｖａｌａｎｄｐｏｌｉｓ ｈｉｎｇｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙｗａｓ