关于硅片工艺方面异常综合报告.pptx

硅片事业部; 目 录; 断 线;最常见的是钢线质量问题造成断线；其次张力异常造成断线；垂直度不垂直造成断线；滑轮质量问题造成断线，滑轮没有及时更换造成断线；张力方大器故障造成断线；导轮驱动异常造成断线。 其次放线轮压线断线分为假压线和真压两种： 在这两种情况下真压线的断线率比假压线的高。其主要原因是在钢线本身，还有一种可能是断线后采用反切方法排线不正确也会产生。 ;其一排线的问题。在切割过程中收线轮处的排线轮由于行程有细微的过大，而切割后的钢线本身在切割过程中有了比较均匀的磨损；由于排线轮的行程大了一点，线和收线轮的飞边相摩擦产生一个切向力（废钢线也有一定的张力）。被收线轮的飞边给切断的。如果在微观方面看得话，是由于排线行程过大的那一刹那。 其二收线轮的原因。在排线正常的情况下由于收线轮的飞边上有金属毛刺。在收线轮高速旋转的情况下，在飞边上的毛刺产生切向力河大足以截断一根0.140和0.120的钢线。 其三收线轮处的张力臂力不平稳。在一切情况都排除在外时收线轮处的断线最有可能是由于收线轮处的张力臂张力不平稳引起的，忽高忽低的张力给废钢线施加了一个变量的力。在金属力学中这是一大忌，钢线就是这样被疲劳拉断了。 其四滑轮质量问题或滑轮没有及时更换造成断线。 ;导轮没有处理干净，在高速切割中钢线因杂质而脱离导轮槽，导致钢线飞线（跳线），随着高速运转的钢线，跳线处与晶棒摩擦要比正常切割线网区域摩擦更严重，随着切割时间延长，砂浆的切割力也慢慢下降，跳线位置可能会断线； 晶棒两端斜面过大在切割中切到斜面边缘处钢线容易大化，钢线脱离线槽，会把端面位置碎片带进线网，造成断线； 晶棒本身有杂质硬点，造成断线；导轮槽磨损，切割中钢线会错位，会引起硅片断裂，硅渣进入线网造成断线； 钢线质量问题，切割中会造成线网断线； 砂浆密度过高，切割力达不到，造成没有规律性的线网断线； 砂浆帘堵塞，砂浆断流，钢线和晶棒干磨，造成线网断线； 导轮驱??异常，可能会引起线网断线； 导向条下面有空隙，切割入刀口时碎导向条会与钢线的切割方向，把硬物带进线网，造成断线。 ;其一线速也是断线的一种因素之一，在线速迅速降低也是致命的。这时候钢线由于惯性还在向前运动，可是导轮已经按照降速后运转，同事晶棒还是在下降。这时钢线会在晶体中行程褶皱，在钢线上产生应力点，也就给断线埋下了隐患。 其二晶棒粘接对接处抹胶太多，快要切完时的线网直接与对接处的胶接触，胶过多线网会直接将其带进线网导致断线。 ? ; 线 痕; 崩 边; 厚 薄 片; 缺 角; 隐 裂; 弯 曲 片; 掉 棒; 掉 片;备注：粘棒室温度为22℃-28℃，湿度为50%以下；配胶比例：A胶树脂：B胶固化剂 =1：1；玻璃板加压、固化时间：加压15-25分钟，固化30分钟以上（包含加压时间）；晶棒、玻璃板清洗：超声清洗，水温40—50摄氏度，清洗时间10-15分钟。 ; 过 滤 袋 堵 塞; 如何避免断线和断线的解决方法;砂浆袋的压力是否正常，因为在切割中如果砂浆袋压力过高那说明砂浆袋里面堵塞了，或是砂浆管道里没有处理干净，这样的情况会造成在切割中没有规律性的断线，也就是哪个位置都很有可能会导致断线，其次还会造成TTV超厚超薄等现象； 砂浆密度的控制，在切割中密度是很重要的一个环节，如切割能力达不到，那百分之百会断线，比如片子上有线痕、TTV、厚薄片，都和密度有直接关系，当然这只是一部分，好多异常还有其他原因，那就要观察片子上线痕、TTV、厚薄片在切割的安装位置，出刀口还是进刀口； 导轮的使用时间和表面有无勒痕也是很重要的，导轮勒痕会造成断线，还有线痕、TTV、厚薄片或许还会有弯曲片等情况。 ; 钢线异常会引起以下现象;