Q_230109 HUE 001-2019光刻机高速可变光阑系统.pdf

Q/HUE 哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司企业标准 Q/HUE 001-2019 光刻机高速可变光阑系统 2019-07-02发布 2019-07-02实施 哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司 发布 Q/HUE 001-2019 目 次 前 言 III 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 3.1 光刻机高速可变光阑系统 1 3.2 狭缝式窗口 1 3.3 光阑片 1 3.4 X 向光阑片 2 3.5 Y 向光阑片 2 3.6 底端面 2 3.7 外斜面 2 3.8 内斜面 2 4 型号及基本参数 2 4.1 供气气源 2 4.2 供电电源 3 4.3 型号 3 5 技术要求 3 5.1 正常工作环境条件 3 5.2 使用环境的其他要求 3 5.3 外观和结构要求 3 5.4 各部分相互作用 3 5.5 主要技术指标 3 6 检验条件 4 7 检验方法 4 7.1 外观和结构 4 7.2 各部分相互作用 4 7.3 光阑片平面度误差 4 7.4 光阑片形位误差 4 7.5 光阑片装配精度 5 7.6 光阑片窗口指标 5 7.7 光阑片行程指标 5 7.8 光阑片运动指标 5 8 检验规则 6 8.1 检验分类 6 8.2 出厂检验 6 8.3 用户检验 6 9 标志、贮存及提供文件 6 9.1 标志 6 9.2 贮存 6 9.3 提供文件 6 I Q/HUE 001-2019 前 言 本标准编制过程中主要依据 GB/T1.1-2009 和 GB/T20001.10-2014 进行。 本标准为新制定标准，目前没有与之等同的国际标准、国家标准及行业标准。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准规定了本系列产品生产过程中应共同遵循的基本原则。 本标准的目的在于帮助读者对光刻机高速可变光阑系统标准的使用有一个基本了解。 本标准提出并定义了光刻机高速可变光阑系统的通用概念，以避免在具体光刻机高速可变光阑系 统标准中重复定义。 本标准对制造商进行光刻机高速可变光阑系统特性评价并提出技术要求有指导意义。 本标准对制定特定光刻机高速可变光阑系统标准有指导作用。 在阅读或使用特定光刻机高速可变光阑系统标准时应随时参考本标准。 本标准负责起草单位：哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司。 本标准参加起草单位：哈尔滨工业大学。 本标准主要起草人：吴剑威、温众普、张银、崔继文、李洁安、田丰。 III Q/HUE 001-2019 光刻机高速可变光阑系统