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由 变频式冷冻机和变频泵
由 变频式冷冻机和变频泵
DC
DC
可实现更大幅度的节能。
变频器式 ■循环液种类：氟化液／乙二醇水溶液／清水�纯水
功耗 ■设定温度范围：-20 ～40℃／20 ～90℃／-20 ～90℃
1.1kWh/h ■冷却能力：1kW ／2kW ／4kW ／8kW ／10kW～最大15kW
■温度稳定性：±0.1℃
冷却水量
2 /min ■使用冷媒：R404A(HFC)／R134a(HFC)
精密型温控器
（恒温液循环装置）
SEMATECH SEMI Standard
S2-93, S8-95 S2-0703, S8-0701, F47-0200
●海外规格：
HRZ 系列
CAT.CS40-48B
HRZ
40
HRZ002-L 3.9kWh/h
-100kW502kW50
40 75
HRZ002-H 12 HRZ002-L 5 / min
-100kW502kW50
New
DC
82 90
6.2kWh/h 20 / min
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