Q_441900 HCZK 002-2019真空光学电子束镀膜设备.pdf

Q/HC 东莞市汇成真空科技有限公司企业标准 Q/441900 HCZK 002-2019 真空光学电子束镀膜设备 2019-03-15 发布 2019-04-25 实施 东莞市汇成真空科技有限公司 发 布 Q/441900 HCZK 002-2019 前 言 本标准按照GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》、GB/T 20001.10-2014 《标准编写规则第10部分：产品标准》和相关强制性国家标准的要求编制。 本标准由东莞市汇成真空科技有限公司提出并负责起草。 本标准主要起草人：志荣、罗志明、李志方、李秋霞、李迎春、潘锐华、李江勇、盛钢。 本标准首次发布日期：2019年03月15日。 本标准有效日期至2022年12月31日。 I Q/441900 HCZK 002-2019 真空光学电子束镀膜设备 1 范围 本标准规定了真空光学电子束镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、 贮存等要求。 本标准适用于真空光学电子束镀膜设备，并适用于将镀材蒸发或升华并溅射到镀件表面上凝聚成膜 的类似设备领域。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB 5226.1-2008 《机械电气安全》机械电气设备 第1部分：通用技术条件 GB 50171-2012 《电气装置安装工程盘、柜及二次回路结线施工及验收规范》 GB 7251.1-2013 《低压成套开关设备的控制设备》 GB/T 3163-2007 《真空技术 术语》 GB/T 6070-2007 《真空技术 法兰尺寸》 GB/T 11164-2011 《真空镀膜设备通用技术条件》 GB/T 15945-2008 《电能质量电力系统频率偏差》 GB/T 7932 《气动系统通用技术条件》 GB/T 6576-2002 《机床润滑系统》 GB/T 191-2008 《包装储运图示标志》 GB/T 13306 《标牌》 JB/T 8946-2010 《真空离子镀膜设备》 JB/T 7673-2011 《真空技术 真空设备型号编制方法》 JB 4012-85 《低压空气式隔离器、开关、隔离开关及熔断器组合电器》 3 要求 3.1 基本要求 3.1.1 真空光学电子束镀膜设备应按规定的图样及技术文件制造，并应符合本标准要求。 3.1.2 配套的外协件、外购件、电气元件应按规定的要求经检验合格方可装配。 3.2 正常工作条件 3.2.1 设备正常工作环境 a) 环境温度：15℃～35℃； 1 Q/441900 HCZK 002-2019 b) 相对湿度：不大于65% （25℃）； c) 冷却水质：小于或等于150ppm； d) 冷却水进水温度：不高于25℃。 3.2.2 供电电源 电源电压：AC380 V (±5%)、三相五线制；电源频率：50 Hz