第十三章 湿度传感器.ppt

第13章 湿度传感器 霍尼韦尔生产的湿度传感器如图所示。 第13章 湿度传感器 日本神荣相对湿度传感器如图所示。 第13章 湿度传感器 JY2-PTS-2空气湿度传感器如图所示。 技术指标： 1.测量范围：0~100%RH 2.测量精度：±2%RH 3.信号输出：0~5V 4.信号传送距离：小于100米 第13章 湿度传感器 湿敏电容如左图所示。湿敏电阻如右图所示。 第13章 湿度传感器 湿敏模块正反面如左图所示，右图是湿敏传感器的正反面。 第13章 湿度传感器 芬兰生产的湿度传感器如左图所示。露点仪如右图所示。 第13章 湿度传感器 13.1 概述 13.2 湿度传感器的分类与特性参数 13.3 氯化锂湿度传感器 13.4 半导体陶瓷湿敏电阻 13.5 多孔硅湿敏元件 13.6 高分子湿度传感器 13.7 测量电路 13.8 湿敏传感器的应用 13.1 概述 人们对湿度测量与控制重要性的认识，同温度相比要晚得多。17世纪才制成了毛发湿度计，18世纪制成了干湿球湿度计。它们的主要缺点是灵敏度和分辨率都不够高，而且输出是非电信号，难以同电子电路或自动控制系统及仪器相联结。1938年才研制出输出电信号的LiCl电解质湿度传感器。 13.1 概述 13.1.1 湿度的表示方法 13.1.2 标定湿度传感器的饱和盐水溶液法 13.1.1 湿度的表示方法 大气中含有水分的多少直接影响大气的干、湿程度。在物理学和气象学中，对大气(空气)湿度的表征通常使用绝对湿度、相对湿度和露(霜)点湿度。 1.绝对湿度 在一定温度和压力条件下，单位体积的混合气体中所含水蒸气的质量，其定义为 13.1.1 湿度的表示方法 式中，mv为待测混合气体中的水蒸气质量；V为待测混合气体的总体积；rv为待测混合气体的绝对湿度，其单位为g/m3。以AH表示绝对湿度。 13.1.1 湿度的表示方法 2.相对湿度 相对湿度为待测空气的水蒸气分压p与相同温度下的饱和水蒸气压pW的比值，用百分数表示。这是一个无量纲量，常表示为%RH(RH为相对湿度Relative Humidity的缩写)，亦即 13.1.1 湿度的表示方法 3.露点湿度 保持压力一定而降温，使混合气体中的水蒸气达到饱和而开始结露时的温度称为露点(℃)。 13.1 概述 13.1.1 湿度的表示方法 13.1.2 标定湿度传感器的饱和盐水溶液法 13.1.2 标定湿度传感器的饱和盐水溶液法 饱和盐水溶液法又称湿度固定点法，属于静态标定法。虽然这种方法相对准确度较低，并且只能提供固定的湿度点，却具有简易和价廉的优点。将饱和盐水溶液置于封闭的容器中，根据拉乌尔定律和亨利定律，在定温和平衡的条件下，溶液的组分固定，则其水蒸气分压为常量，因而使饱和盐水溶液上方的空间保持恒定的相对湿度。改变溶液的组分则可以获得不同的平衡水蒸气分压，即可得到不同的相对湿度。 13.1.2 标定湿度传感器的饱和盐水溶液法 在选择饱和盐水溶液时，应使其对应的相对湿度有合适的间隔。在配制饱和盐水溶液时一定要用纯净水(如蒸馏水或去离子水)以及较纯净的盐，并保持水溶液和其上方的气温一致，以保证相对湿度具有一定的稳定性。各种饱和盐水溶液对应的相对湿度值一般采用美国国家标准局(NBS)1976年提供的数据。 13.1.2 标定湿度传感器的饱和盐水溶液法 下表是几种饱和盐水溶液平衡时的相对湿度值。 13.1.2 标定湿度传感器的饱和盐水溶液法 如图所示是饱和盐水溶液湿度发生装置。 13.1 概述 13.1.1 湿度的表示方法 13.1.2 标定湿度传感器的饱和盐水溶液法 第13章 湿度传感器 13.1 概述 13.2 湿度传感器的分类与特性参数 13.3 氯化锂湿度传感器 13.4 半导体陶瓷湿敏电阻 13.5 多孔硅湿敏元件 13.6 高分子湿度传感器 13.7 测量电路 13.8 湿敏传感器的应用 13.2 湿度传感器的分类与特性参数 13.2.1 湿度传感器的分类 13.2.2 湿度传感器的特性参数 13.2.1 湿度传感器的分类 湿度传感器可分为水分子亲合力型和非水分子亲合力型两类。水分子有较大的偶极矩故易于吸附在固体表面并渗透到固体内部。水分子的这种吸附和渗透特性称水分子亲合力。利用水分子这一特性制作的湿度传感器称水分子亲合力型传感器。反之，与水分子亲合力无关的传感器称非水分子亲合力型传感器。 13.2.1 湿度传感器的分类 湿度传感器分类如图所示。 13.2.1 湿度传感器的分类