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场发射扫描电镜(* 必须满足)
*1.分辨率:优于1.0 nm。
*2.主要配置:二次电子探头, 背散射电子探头。
*3.配备红外CCD照相机。
*4.配备样品导航系统。
5. 加速电压:0.2—30kV。
6. 束流:≤200 nA。
7. 5轴马达驱动样品台,移动范围:X≥70mm, Y≥50mm, Z≥40mm,倾转角度-5°至70°,可360°旋转。
*8. 配备EDS(能谱仪),能谱仪能量分辨率优于129eV。晶体活区面积≥50mm2。
*9. 技术服务:到货期6个月,用户现场安装调试验收及使用、维护培训,至少2周,用户至少2人完全会操作,高级培训2次(1次是用户现场,1次是厂商处培训,2人次的用户会用于交流),仪器整机保修期为验收合格后3年。保修期内保证24小时响应,48小时到现场。
*10.其它配置:备用场发射灯丝1套,样品台 (1个),光阑(1个),UPS整机电源1套(不低于1.5小时)。红外烘烤灯,红外干燥箱,真空干燥器,喷金仪。
11. 完成场地改造,确保仪器正常使用,场地改造费不低于1万美元。
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