扫描电镜分析技术.pptxVIP

;;;;;SE和BSE的激发原理;入射电子束在样品中激发出的各种信号;;Tungsten Filament;对微区成分分析而言，它是指能分析的最小区域；对成像而言，它是指能分辨两点之间的最小距离。 入射电子束束斑直径 入射电子束在样品中的扩展效应 成像方式及所用的调制信号 二次电子像的分辨率约为5-10nm，背反射电子像的分辨率约为50-200nm。X射线的深度和广度都远较背反射电子的发射范围大，所以X射线图像的分辨率远低于二次电子像和背反射电子像。 ; ;加速电压对分辨率的影响;工作距离对分辨率及景深的影响;探针电流对分辨率及信噪比的影响;二次电子流;23;样品: 纸张 加速电压: 15kV 压力: 5～20Pa