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考察p型半导体的非少子扩散运动 沿x方向的浓度梯度 电子的扩散流密度 (单位时间通过单位 截面积的电子数) 4.6 载流子的扩散(Diffusion) 一.净扩散 Dn---电子扩散系数( electron diffusion coefficients) ——单位时间在小体积Δx·1中积累的电子数 扩散定律 在x附近,单位时间、单位体积中积累的电子数——积累率 稳态时,积累=损失 稳态扩散方程 三维 球坐标 一维求解 (1)若样品足够厚 (2)若样品厚为W(W ∞) 并设非平衡少子被全部引出 则边界条件为: ?n(W)=0 ?n(0)= (? n)0 得 当WLn时, 相应的 Sn=常数 空穴的扩散电流密度 电子的扩散电流密度 扩散电流密度 若样品足够厚 在光照和外场同时存在的情况下: (2)总电流密度 二.爱因斯坦关系 平衡条件下: Einstein Relationship 内建电场 最后得 同理 连续性方程 扩散、漂移、复合等运动同时存在时,少数载流子的运动方程。 以一维p型为例来讨论: ε 光照 在外加条件下,载流子未达到稳态时,少子浓度不仅是x的函数,而且随时间t变化: 三.载流子的完整运动 积累率 复合率 其它产生率 *电子积累率: 电子的扩散和漂移流密度 ------连续性方程 讨论(1)光照恒定 (2)材料掺杂均匀 (3)外加电场均匀 (4)光照恒定,且被半导体均匀吸收 对于n型半导体: p型半导体: 应用举例 1 用光照射n型半导体,并被表面均匀吸收,且gp=0 。假定材料是均匀的,且无外场作用,试写出少数载流子满足的运动方程。 非平衡少数载流子的扩散方程 恒定光照下 ——稳态扩散方程 2 用恒定光照射n型半导体,并被表面均匀吸收,且gp=0。假定材料是均匀的,且外场均匀,试写出少数载流子满足的运动方程,并求解。 解 此时连续性方程变为 方程的通解为: 考虑到非平衡载流子是随x衰减的 又 其中 ——空穴的牵引长度 空穴在寿命时间内所漂移的距离 最后得: 其中 电场很强 电场很弱 结论:由表面注入的非平衡载流子深入样品的平均距离,在电场很强时为牵引长度,而电场很弱时为扩散长度。 3 在一块均匀的半导体材料中,用适当频率的光脉冲照射其局部区域,请分别写出没有外场和加外场时,非平衡载流子在光脉冲停止后的运动方程。 没有外场 0 x ?p t=0 t=t1 t=t2 有外场 0 x ?p t=0 t=t1 A t=t2 4 稳态下的表面复合 稳定光照射在一块均匀掺杂的n型半导体中均匀产生非平衡载流子,产生率为gp。如果在半导体一侧存在表面复合(如图所示),试写出非平衡载流子的表达式。 表面复合 x 0 y 体内产生的非子为 空穴向表面扩散,满足的扩散方程 边界条件: 考虑表面复合: 例 今有一块均匀的n型硅材料,用适当的频率、稳定的光照射样品的左半边(如下图),产生电子-空穴对,其产生率为gp,求稳态时、小注入水平、样品足够长时两边的空穴浓度及分布。 光 照 x 0 稳态时: 光 照 x 0 边界条件 4.4 载流子的散射 散射是指运动粒子受到力场(或势场)的作用时运动状态发生变化的一种现象。 处理晶体中的电子时,通常将周期势场的影响概括在有效质量中,这使得晶体中的电子可以被看作为有效质量为m*的自由电子。因此,不存在散射,但是原周期势场一旦遭到破坏 ,就会发生散射了。 * scattering by neutral impurity and defects 中性杂质和缺陷散射 * Carrier-carrier scattering 载流子之间的散射 * Piezoelectric scattering 压电散射 * Intervalley scattering 能谷间的散射 半导体的主要散射(scatting)机构: * Phonon (lattice)scattering晶格振动(声子)散射 * Ionized impurity scattering 电离杂质散射 纵波和横波 一.晶格振动散射 声学波声子散射几率: 光学波声子散射几率: 电离杂质散射几率: 总的散射几率: P=PS+PO+PI+ ---- 总的迁移率: 二.电离杂质散射 主要散射机制 电离杂质的散射: 晶格振动的散射: 三.温度对散射的影响 第4章 半导体中电子的状态 4.1 电子的分布 4.2 载流子的调节 4.3 载流子的复合 4.4 载流子的散射 4.5 载流子的漂移 4.6 载流子的扩散 4.7 载流子的完整运动 半导体中的载流子在外场的作用下,作定向运动---漂移运动。 相应的运动速度---漂移速度 。 漂移运动
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