第十一章 晶体薄膜衍衬成像分析.pptVIP

5.2.2 工艺过程 二 衍射衬度原理 1 衍射衬度原理是晶体薄膜样品在TEM中的成像原理； 2 由于电子束在晶体中会产生衍射现象，在薄晶样品中可近似认为只有透射束和衍射束； 3 由于样品中各微区晶体取向和结构的差异，故其满足衍射条件或衍射强度不同； 4 因此，采用物镜光阑挡住衍射束让透射束成像（或挡住透射束让衍射束成像），可获得具有一定衬度的图像。 小 结 §11-5 消光距离 2.ξg影响的因素 内因： a.晶胞的大小、晶体结构； b.结构因子：即原子的种类、数量、位置； c.参与衍射的晶面。 外因：电子束波长（或加速电压） §11-6 衍衬运动学简介 二. 运动学基本假设 三.理想晶体的衍射强度 3. 等倾条纹 ③等倾条纹和等厚条纹的区别 a.等倾条纹在视场中很容易移动。（样品受到电子束照射后，由于温度升高而变形，在视野中就可看到弯曲消光条纹的运动。此外，如果我们把样品稍加倾动，弯曲消光条纹就会发生大幅度扫动。这些现象都是由于晶面转动引起偏移矢量大小改变而造成的。） b.如果样品的变形状态比较复杂，那么等倾条纹大都不具有对称的特征。 四.非理想晶体的衍射衬度 五.晶体缺陷分析 1. 层错 （2）倾斜于薄膜表面的层错： 衬度特征：平行于层错面与样品表面交线的亮暗相间的等间距条纹。 衬度形成原因：层错面上的各点在样品厚度方向上的位置是连续变化