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5.2压电、电致伸缩器件：材料 2.电致伸缩材料 电致伸缩材料最早是PMN锡镁酸铅系。1977年美国L. E. Cross教授研究出具有大电致伸缩效应的弛像铁电体组分0.9PMN-0.1PT，它的居里点在0℃附近。1981年又开发了三元系固溶体0.45PMN-0.36PT-0.19BZN双弛豫铁电体，它具有良好的温度稳定性及大电致伸缩效应。它的介电常数、横向应变特性曲线如图5-20。PMN是由PbO,MgO,,Ti，BaC,ZrO等按比例烧结而成。1981年我国1426所研制La：PZT 5.2压电、电致伸缩器件 1.压电徽位移器件 用压电陶瓷作微位移器件目前已得到广泛的应用，如激光稳频、精密工作台的补偿、精密机械加工中的微进给以及微调等。用于精密微位移器件的压电陶瓷，应满足下列要求： 1）电灵敏度高，即单位电压变形大. 2）行程大，电压变形曲线线性好； 3）体积小，稳定性好，不老化，重复性好 5.2压电、电致伸缩器件 1.压电徽位移器件 用压电陶瓷作微位移器件目前已得到广泛的应用，如激光稳频、精密工作台的补偿、精密机械加工中的微进给以及微调等。用于精密微位移器件的压电陶瓷，应满足下列要求：1）电灵敏度高，即单位电压变形大.2）行程大，电压变形曲线线性好；3）体积小，稳定性好，不老化，重复性好。压电陶瓷的主要缺点是变形量小，即压电微位移器件在施加较高电压时，行程仍很小，所以在设计微位移器时，应尽量提高压电陶瓷的变形量， 5.2压电、电致伸缩器件 2.电致伸缩器件 电致伸缩器件最早是1977年由Cross等人研制的，把PZ或PMN材料制成φ25.4mm，厚2mm的圆片10片叠加起来，如图5-26（a），外加2.9KV电压可得到13μm的位移，其分辨率为1nm。电致伸缩驰豫型铁电体比普通的压电陶瓷更优越：1）电致伸缩应变大；2）位置重复性（再现性）好； 不需要极化；3）不老化；4）热膨胀系数很低。 5.3电磁控制的微动工作台 电磁控制的微动工作台首先由日本研制成功。1955年NIHIZAWA等人开始研究至1975年研制出定位精度为0.2um的微动工作台，并成功地应用于电子束曝光机中，成为微位移技术中的一个新方法。 5.3电磁控制的微动工作台_工作原理 电磁驰动的原理如图5-28所示，把微动工作台1用4根链或金属丝4悬挂起来；工作台两端分别用弹簧3固定，另外两端放置两块电磁铁。通过改变电磁铁线圈的电流来控制电磁铁对工作台的吸引力，克服弹簧的作用力，达到控制工作台微位移的目的。 设工作台的位移量为△d，当电磁铁的吸引力为F时，此时工作台保持平衡。F应等于弹簧的拉力F与工作台由初始位置位移△d所产生的吊簧拉力F之和，即 5.3电磁控制的微动工作台_工作原理 5.3电磁控制的微动工作台_工作原理 电磁铁的吸引力为 式中:B—电磁场磁通密度，Wb/； μ—导磁率,H/m； S—磁极截面面积，。 弹簧的拉力为 5.3电磁控制的微动工作台_工作原理 式中:k—弹簧常数,kg/m； △d—工作台移动距离，m； g—常数(g=9.8N/kg)。 设由于工作台移动而形成悬挂丝的偏角为B,工作台向上移动为Ah,那么， △h=L(1-cosθ) 式中，L为挂丝长度，当L足够长时，△h/L=1- cosθ。由于θ很小，故△h/L→0，故弹簧拉力与挂丝的拉力相比较，可以忽略不计，所以公式(5-9)变成 5.3电磁控制的微动工作台_工作原理 由上式可见工作台移动的距离,△d与磁通密度的平方成正比，通过改变流过电磁铁线圈中的电流可以改变磁通密度，以达到控制位移的目的。 5.3电磁控制的微动工作台_工作原理 通过线圈的电流与磁通密度的关系为 式中：N—绕在电磁铁上的线圈圈数； l—磁路长度，m； —磁性材料的导磁率, H/m； μ—空气隙的导磁率,H/m； d‘—空气隙长度，m； I—电流强度，A。 将式(5-12)代人式(5-11), 5.3电磁控制的微动工作台_工作原理 得当磁性材料的导磁率比气隙导磁率μ大得多时，即》lμd‘,则：公式(5-13)变为 (5-14) 由上式可见，工作台移动的距离与电流和线圈圈数平方成正比。 5.3电磁控制的微动工作台_工作原理 5.3.3设计中需考虑的几个问题 1.精度、稳定速度和气隙的关系：当不考虑磁饱和特性时，随精度和定位范围的确定，则合适的稳定速度和气隙长度也确定了。电流变化速度I/A和气隙d变化量之间的关系如图5-30。|△d|司在1um～1Omm之间，精度K为0.1um～10um。为提高精度，应