第一篇——组织形貌分析(终版).ppt

4.1 磁力显微技术 如果针尖靠近表面，即处在标准的非接触模式工作区间，则图像主要含形貌信息。 随着间隙增大，磁力效应变得显著。图像主要含磁特性图像。 在不同的针尖高度下采集一系列图像是剥离两种效应的一种途径。 硬盘磁记录单元的形貌像（左） 和MFM图像（右） 用磁力针尖获得的图像都包含着表面形貌和磁特性。 4.2 力调制显微术（FMM） FMM是AFM成像技术的扩展，可确定样品的力学性能，也可同时采集形貌和材料性质的数据。 AFM针尖以接触方式扫描样品，将一周期信号加在针尖或样品上，由此信号驱动产生的悬臂调制振幅随样品弹性而变。 通过检测悬臂调制振幅的变化来形成力调制像，反映样品弹性的分布。 随样品表面力学性能改变的悬臂振幅 4.3 相位检测显微技术（PDM） 相位检测显微技术也称之为相位成像，这种技术借助测量悬臂振动驱动和振动输出信号之间的位相延迟，研究弹性、粘度和摩擦等表面机械性能的变化。 对应样品表面力学性能的相位延迟变化 4.4 静电力显微技术（EFM） 静电力显微技术显示出样品表面的局部电荷畴结构，如电子器件中电路静电场的分布。 在针尖与样品之间施加电压，当悬臂扫描至静电荷时，悬臂偏转。偏转幅度正比于电荷密度，可以用光束折射系统进行测量。 EFM电荷畴结构的面分布像 4.5 扫描电容显微技术（SCM） 4.6 热扫描显微技术（TSM） 4